中古 アネルバ ANELVA サーモカップル（TCゲージ） M-12DM

本装置は、気体の熱伝導率が圧力に依存して変化する物理的性質を利用し、真空度を測定する熱電対真空計（TCゲージ）のコントローラー（表示器）です。大気圧から低真空領域の測定を主目的としており、一般的に0.13 Paから270 Pa（1×10^-3 Torr〜2 Torr）の圧力範囲に対応します。ロータリーポンプ等の粗引き排気ラインの監視や、各種真空プロセスにおける初期排気段階の圧力管理に用いられます。

フロントパネルにはアナログメーターが搭載されており、デジタル表示では把握しにくい圧力変動の連続的な推移を直感的に読み取ることが可能です。また、本モデルの大きな特徴として、任意の圧力設定値で接点信号を出力するメーターリレー（セットポイント）機能を備えています。これにより、所定の真空度に到達した際の自動バルブ開閉や、高真空ポンプ起動のためのインターロック制御など、真空システム全体のシーケンス回路への組み込みが容易に行えます。

アナログ回路を主体とした設計により、ノイズ環境下や急激な圧力変動に対しても安定した測定挙動を示す堅牢性を持ち合わせています。なお、本製品は表示・制御ユニット単体となり、実際の圧力測定に不可欠な専用センサー（測定子）および接続用ケーブルは別売りです。実際の運用にあたっては、適合する測定子を別途手配・接続してご使用ください。