中古 アネルバ ANELVA サーモカップル（TCゲージ） WSC-65

本機は、気体の熱伝導現象を応用し、大気圧から0.1 Paまでの低～中真空領域を正確に測定できる熱電対真空計（TCゲージ）です。主に真空チャンバーの粗引き排気ラインにおける圧力モニタリングや、高真空ポンプ（ターボ分子ポンプなど）を起動する際のインターロック用センサーとして広く活用されています。特に100 Paから0.1 Paの範囲において優れた感度と安定性を発揮し、日常的な真空排気プロセスの状態把握に最適な設計となっています。

内部回路には高精度の安定化電源が組み込まれており、測定子（センサー）内のヒーター線へ一定の電流を供給します。真空度の変化に伴う気体の熱伝導率の変動を熱電対の起電力変化として捉え、正確な圧力値に変換します。また、システムへの組み込みを前提とした拡張性も備えており、外部データ収集用の0～10mV DCアナログレコーダー出力に加え、任意の圧力値（例：5.0 Paなど）で任意に設定可能なセットポイント（リレー接点）出力を搭載しています。

センサー部の構造がシンプルであるため、オイルミストやプロセス副生成物が発生しやすい環境でも比較的汚れに強く、長期的な耐久性とメンテナンス性に優れているのが特徴です。中古機器として既存の真空装置へ導入する際は、同社製の適合測定子および専用ケーブルとの組み合わせを確認することで、信頼性の高い圧力制御システムを容易に構築できます。