中古 圧力調整バルブ(APC)
メーカー名
Vat
型式61532-KEAC-0002/0001
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
120,000円
【AIによる装置概要】
本機は、真空チャンバー内の排気コンダクタンス（排気速度）を調整し、プロセス圧力を高精度に維持するためのコントローラ内蔵型バタフライ式圧力制御バルブです。半導体製造や真空コーティング、フラットパネルディスプレイ製造など、厳密な圧力管理が求められる真空プロセスにおいて広く活用されています。
バルブ本体と制御用コントローラが一体化されたオンボード設計となっており、外部コントローラの設置スペースを削減し、配線を簡略化できる点が特徴です。駆動部には高分解能ステッピングモーターを採用し、ガスの流量変動やプラズマ着火といったプロセスの急激な条件変化に対しても、適応型制御アルゴリズムによりオーバーシュートを抑え、目標圧力へ瞬時かつ滑らかに追従します。
本仕様は口径DN50（ISO-KFフランジ）を採用しており、バルブボディには軽量かつ熱伝導性に優れたアルミニウムが使用されています。シール材には耐薬品性と気密性に定評のあるFKM（フッ素ゴム）を採用しているため、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯で長期間安定した性能を発揮します。また、フルストロークの開閉を約1秒で完了する高速応答性を備えており、製造プロセスのスループット向上に寄与します。
【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ：コントローラ内蔵バタフライ圧力制御バルブ
・口径：DN 50
・フランジ規格：ISO-KF (NW50)
・バルブボディ材質：アルミニウム
・プレート/シール材質：アルミニウム / FKM (フッ素ゴム)
・駆動方式：ステッピングモーター
・適用圧力範囲：1×10⁻⁸ mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
・最大許容差圧：1 bar
・シートリークレート：< 1×10⁻⁹ mbar L/s
・ボディリークレート：< 1×10⁻⁹ mbar L/s
・フルストローク開閉時間：約 1.0 秒
・許容動作温度（バルブボディ）：最大 150℃
・許容動作温度（コントローラ部）：最大 50℃
・電源電圧：24 VDC
本機は、真空チャンバー内の排気コンダクタンス（排気速度）を調整し、プロセス圧力を高精度に維持するためのコントローラ内蔵型バタフライ式圧力制御バルブです。半導体製造や真空コーティング、フラットパネルディスプレイ製造など、厳密な圧力管理が求められる真空プロセスにおいて広く活用されています。
バルブ本体と制御用コントローラが一体化されたオンボード設計となっており、外部コントローラの設置スペースを削減し、配線を簡略化できる点が特徴です。駆動部には高分解能ステッピングモーターを採用し、ガスの流量変動やプラズマ着火といったプロセスの急激な条件変化に対しても、適応型制御アルゴリズムによりオーバーシュートを抑え、目標圧力へ瞬時かつ滑らかに追従します。
本仕様は口径DN50（ISO-KFフランジ）を採用しており、バルブボディには軽量かつ熱伝導性に優れたアルミニウムが使用されています。シール材には耐薬品性と気密性に定評のあるFKM（フッ素ゴム）を採用しているため、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯で長期間安定した性能を発揮します。また、フルストロークの開閉を約1秒で完了する高速応答性を備えており、製造プロセスのスループット向上に寄与します。
【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ：コントローラ内蔵バタフライ圧力制御バルブ
・口径：DN 50
・フランジ規格：ISO-KF (NW50)
・バルブボディ材質：アルミニウム
・プレート/シール材質：アルミニウム / FKM (フッ素ゴム)
・駆動方式：ステッピングモーター
・適用圧力範囲：1×10⁻⁸ mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
・最大許容差圧：1 bar
・シートリークレート：< 1×10⁻⁹ mbar L/s
・ボディリークレート：< 1×10⁻⁹ mbar L/s
・フルストローク開閉時間：約 1.0 秒
・許容動作温度（バルブボディ）：最大 150℃
・許容動作温度（コントローラ部）：最大 50℃
・電源電圧：24 VDC