中古 ピエゾバルブ
メーカー名
堀場エステック Stec
型式PV-1501MC
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜装置などのガスラインにおいて、極めて高速かつ高精度な流量・圧力制御を行うために設計されたピエゾアクチュエータ駆動型の精密制御バルブです。従来の電磁式バルブとは異なり、ピエゾ素子の微細な電圧応答変位を利用することで、ミリ秒単位の優れた応答速度と高い再現性を実現しています。特に、過渡的な流量変化の抑制や微小流量の精密な調整が要求されるプロセスにおいて優れたパフォーマンスを発揮します。
構造面では、接ガス部に耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、メタルシール構造とすることで外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで低減しています。これにより、高真空環境や腐食性ガス、超高純度ガスの制御にも適応可能です。バルブ形式は常時閉（ノーマリークローズ）仕様となっており、緊急時の安全遮断性にも配慮されています。外部の流量センサーや専用の駆動アンプ（コントローラ）と組み合わせることで、高度なマスフローコントロールシステムを構築することができます。
【AIによる参考仕様】
* **駆動方式：** ピエゾアクチュエータ（圧電素子）駆動
* **バルブ形式：** ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
* **対応流体：** 各種プロセスガス（不活性ガス、腐食性ガス、反応性ガスなど）
* **最大制御流量：** 5 L/min（N2換算基準、一次側・二次側差圧条件による）
* **動作差圧範囲：** 最大 300 kPa（0.3 MPa）
* **耐圧（最高動作圧力）：** 1.0 MPa
* **外部リークレート：** 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **弁座リークレート：** 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec（He）以下
* **接ガス部材質：** SUS316L（ダブルメルト材）、メタルシート仕様
* **接続継手サイズ：** 1/4インチ メタルガスケット継手（VCR等）相当
* **必要駆動電圧：** 0 〜 150 V DC（動作には専用のピエゾドライバー・アンプが必要です）
* **動作環境温度：** 5 〜 50 ℃
本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜装置などのガスラインにおいて、極めて高速かつ高精度な流量・圧力制御を行うために設計されたピエゾアクチュエータ駆動型の精密制御バルブです。従来の電磁式バルブとは異なり、ピエゾ素子の微細な電圧応答変位を利用することで、ミリ秒単位の優れた応答速度と高い再現性を実現しています。特に、過渡的な流量変化の抑制や微小流量の精密な調整が要求されるプロセスにおいて優れたパフォーマンスを発揮します。
構造面では、接ガス部に耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、メタルシール構造とすることで外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで低減しています。これにより、高真空環境や腐食性ガス、超高純度ガスの制御にも適応可能です。バルブ形式は常時閉（ノーマリークローズ）仕様となっており、緊急時の安全遮断性にも配慮されています。外部の流量センサーや専用の駆動アンプ（コントローラ）と組み合わせることで、高度なマスフローコントロールシステムを構築することができます。
【AIによる参考仕様】
* **駆動方式：** ピエゾアクチュエータ（圧電素子）駆動
* **バルブ形式：** ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
* **対応流体：** 各種プロセスガス（不活性ガス、腐食性ガス、反応性ガスなど）
* **最大制御流量：** 5 L/min（N2換算基準、一次側・二次側差圧条件による）
* **動作差圧範囲：** 最大 300 kPa（0.3 MPa）
* **耐圧（最高動作圧力）：** 1.0 MPa
* **外部リークレート：** 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **弁座リークレート：** 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec（He）以下
* **接ガス部材質：** SUS316L（ダブルメルト材）、メタルシート仕様
* **接続継手サイズ：** 1/4インチ メタルガスケット継手（VCR等）相当
* **必要駆動電圧：** 0 〜 150 V DC（動作には専用のピエゾドライバー・アンプが必要です）
* **動作環境温度：** 5 〜 50 ℃