中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式PV-1502MCのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種真空成膜装置、実験用ガス導入ラインにおいて、ガスの質量流量を精密かつ高速に制御するためのマスフローコントローラです。
駆動部には、電磁式バルブと比較して極めて微細なリフト制御が可能なピエゾアクチュエータ（ピエゾバルブ）を採用しています。これにより、目標流量に対して1.0秒以下という優れた高速応答性を発揮し、ガス供給開始時のオーバーシュートやアンダーシュートを最小限に抑えた安定したプロセス制御を実現します。
接ガス部のシール構造には、ゴムなどの樹脂素材を使用しない「メタルシール」を採用しているため、クリーン度が高く、腐食性ガスや高純度ガスを用いたプロセスに最適です。アウトガスの発生や外部リークのリスクを極めて低く抑え、高真空・高純度環境下での長期にわたる安定稼働をサポートします。

【AIによる参考仕様】
・流量制御範囲（N2換算）：10 sccm 〜 10 slm
・制御範囲：2％ 〜 100％ F.S.（フルスケール）
・流量精度：±1.0％ F.S. 以内
・再現性：±0.2％ F.S. 以内
・応答速度：1.0秒以下
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リーク量：1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s He以下
・バルブ動作形式：ピエゾ駆動ノーマリークローズ（常時閉）
・接ガス部シール仕様：メタルシール
・配管接続継手：1/4インチ VCR相当
・入出力信号：0 〜 5 VDC
・供給電源：DC±15V（+15V ±5% 60mA / -15V ±5% 180mA）
・電気接続コネクタ：D-sub 9ピン