中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式PV-1502NC
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、ピエゾアクチュエータを駆動源とした常時閉（Normally Closed）型の高速・高精度な流量制御バルブ（ピエゾバルブ）です。主に半導体製造装置や精密ガス制御ライン、またはマスフローコントローラー（MFC）システムと連携する圧力・流量制御ユニットのキーデバイスとして採用されています。
電磁式バルブと比較して、ピエゾ素子の伸縮特性を活かした極めて早い応答特性（数十ミリ秒以下）を備えており、急激な圧力変動や流量変化に対しても瞬時に追従します。最大制御流量は窒素（N2）換算で2 L/min（2 SLM）のスペックを持ち、微少流量域から中流量域にかけて高い分解能と優れた再現性を発揮します。通電オフ時にバルブが閉じる常時閉仕様のため、異常発生時や停電時には自動的に流路を遮断し、プロセスの安全性を確保します。接ガス部には耐食性に優れたステンレス部材が採用されており、高純度ガスや特殊材料ガスの精密制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：常時閉（Normally Closed / NC）
・駆動方式：ピエゾアクチュエータ駆動式
・最大制御流量：2 L/min（2 SLM / N2換算）※ご使用のガス種によるコンバージョンファクターの適用が必要です。
・最高動作圧力：300 kPa（一次側）
・ピエゾ駆動電圧：DC 0～100 V
・動作周囲温度：5～50 ℃
・接ガス部材質：SUS316L（または同等ステンレス鋼）
・シール方式：メタルシール仕様
・接続ポート：1/4インチ VCR（または同等継手）
※上記仕様は同シリーズの標準的な仕様値に基づく参考情報です。中古機器の特性上、実際の配管接続形状やシール材質、経年によるピエゾ素子の出力状態については現品確認および校正を推奨いたします。
本機は、ピエゾアクチュエータを駆動源とした常時閉（Normally Closed）型の高速・高精度な流量制御バルブ（ピエゾバルブ）です。主に半導体製造装置や精密ガス制御ライン、またはマスフローコントローラー（MFC）システムと連携する圧力・流量制御ユニットのキーデバイスとして採用されています。
電磁式バルブと比較して、ピエゾ素子の伸縮特性を活かした極めて早い応答特性（数十ミリ秒以下）を備えており、急激な圧力変動や流量変化に対しても瞬時に追従します。最大制御流量は窒素（N2）換算で2 L/min（2 SLM）のスペックを持ち、微少流量域から中流量域にかけて高い分解能と優れた再現性を発揮します。通電オフ時にバルブが閉じる常時閉仕様のため、異常発生時や停電時には自動的に流路を遮断し、プロセスの安全性を確保します。接ガス部には耐食性に優れたステンレス部材が採用されており、高純度ガスや特殊材料ガスの精密制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形式：常時閉（Normally Closed / NC）
・駆動方式：ピエゾアクチュエータ駆動式
・最大制御流量：2 L/min（2 SLM / N2換算）※ご使用のガス種によるコンバージョンファクターの適用が必要です。
・最高動作圧力：300 kPa（一次側）
・ピエゾ駆動電圧：DC 0～100 V
・動作周囲温度：5～50 ℃
・接ガス部材質：SUS316L（または同等ステンレス鋼）
・シール方式：メタルシール仕様
・接続ポート：1/4インチ VCR（または同等継手）
※上記仕様は同シリーズの標準的な仕様値に基づく参考情報です。中古機器の特性上、実際の配管接続形状やシール材質、経年によるピエゾ素子の出力状態については現品確認および校正を推奨いたします。