中古 角型ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式F02-114161/1 02006-CA24-1001
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、主に半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置などにおいて、ロードロック室とプロセスチャンバー、あるいはトランスファーチャンバー間に設けられた基板搬送口を開閉するための真空用角型バルブです。高真空（HV）環境下での使用に最適化されており、対応可能な圧力範囲は1×10^-8 mbarの真空域から1.2 bar（絶対圧）までをカバーします。
駆動機構には圧縮空気を利用した空圧式（複作動）シリンダが採用されており、0.5〜0.7 MPaの操作圧力で確実な開閉動作を行います。動作時の摩擦やパーティクルの発生を最小限に抑える独自のシール機構を備えており、バルブシートおよびボディのリークレートはいずれも1×10^-9 mbar L/s未満という優れた気密性を維持します。
バルブ開閉時の振動や衝撃が少ない設計となっているため、搬送中のシリコンウェーハやガラス基板への物理的影響を低減します。また、連続稼働における耐久性にも優れ、動作サイクル寿命は使用環境に依存しますが、概ね100万〜200万回に達します。耐熱温度は、バルブボディ部が最高100℃、アクチュエータ部が最高80℃まで許容されており、多様な真空プロセス環境に組み込むことが可能です。
【AIによる参考仕様】
圧力範囲：1×10^-8 mbar 〜 1.2 bar (絶対圧)
リークレート (バルブシート)：< 1×10^-9 mbar L/s
リークレート (バルブボディ)：< 1×10^-9 mbar L/s
駆動方式：空圧式 (複作動)
必要操作空気圧：0.5 〜 0.7 MPa (5 〜 7 bar)
耐熱温度 (バルブボディ)：≤ 100 ℃
耐熱温度 (アクチュエータ)：≤ 80 ℃
想定動作サイクル寿命：1,000,000 〜 2,000,000 回 (使用条件による)
主要ボディ材質：アルミニウム合金
主要シール材質：FKM (フッ素ゴム)
本装置は、主に半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置などにおいて、ロードロック室とプロセスチャンバー、あるいはトランスファーチャンバー間に設けられた基板搬送口を開閉するための真空用角型バルブです。高真空（HV）環境下での使用に最適化されており、対応可能な圧力範囲は1×10^-8 mbarの真空域から1.2 bar（絶対圧）までをカバーします。
駆動機構には圧縮空気を利用した空圧式（複作動）シリンダが採用されており、0.5〜0.7 MPaの操作圧力で確実な開閉動作を行います。動作時の摩擦やパーティクルの発生を最小限に抑える独自のシール機構を備えており、バルブシートおよびボディのリークレートはいずれも1×10^-9 mbar L/s未満という優れた気密性を維持します。
バルブ開閉時の振動や衝撃が少ない設計となっているため、搬送中のシリコンウェーハやガラス基板への物理的影響を低減します。また、連続稼働における耐久性にも優れ、動作サイクル寿命は使用環境に依存しますが、概ね100万〜200万回に達します。耐熱温度は、バルブボディ部が最高100℃、アクチュエータ部が最高80℃まで許容されており、多様な真空プロセス環境に組み込むことが可能です。
【AIによる参考仕様】
圧力範囲：1×10^-8 mbar 〜 1.2 bar (絶対圧)
リークレート (バルブシート)：< 1×10^-9 mbar L/s
リークレート (バルブボディ)：< 1×10^-9 mbar L/s
駆動方式：空圧式 (複作動)
必要操作空気圧：0.5 〜 0.7 MPa (5 〜 7 bar)
耐熱温度 (バルブボディ)：≤ 100 ℃
耐熱温度 (アクチュエータ)：≤ 80 ℃
想定動作サイクル寿命：1,000,000 〜 2,000,000 回 (使用条件による)
主要ボディ材質：アルミニウム合金
主要シール材質：FKM (フッ素ゴム)