中古 VAT 角型ゲートバルブ 02212-BA24-0001/0036
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- VAT
- 型式
- 02212-BA24-0001/0036
- 機種
- 角型ゲートバルブ
- 管理番号
- Z18022304
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
02212-BA24-0001/0036 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 矩形(角型)ゲートバルブ MONOVAT シリーズ02/03(基板搬送用トランスファーバルブ) |
|---|---|
| 型番 | 02212-BA24-0001/0036 |
| 開口寸法 | 50×336(SEMI E21.1-1296) mm |
| 駆動方式 | 複動式 空圧アクチュエータ、位置表示付(型番の24は制御電圧24V) |
| 推奨作動空気圧 | 2〜6 bar(30〜90 psi)、エア接続 内ねじ⅛" |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁹ mbar〜1.2 bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)、アルミ硬質アルマイトは1×10⁻⁶ mbarから |
| ゲート差圧 | 1.2 bar(両方向)、開放時 ≤30 mbar |
| メンテナンスまでの動作回数 | 500万回以上 |
| 使用温度 | ≤80℃(アルミ+標準位置表示) / ≤150℃(ベーカブル) / ≤200℃(ステンレス・位置表示なし) |
| 材質 | 本体・ゲート アルミ EN AW-6082 またはステンレス AISI 316L、ベローズ AISI 633 |
| シール | FKM(バイトン、ゲートは加硫) |
| 位置表示の接点定格 | ≤50V AC/DC、≤0.1A(>5mA)、9ピン D-sub |
※共通仕様はVATのMONOVAT シリーズ02/03データシート(発注表・技術データ)。型番がデータシートの発注表にそのまま載っている。
出典: 現品の銘板、shop.bannerindustries.com
VAT 02212-BA24-0001/0036 の装置概要 AIによる記述です
半導体や液晶の製造装置で、搬送室とプロセス室のあいだの基板の出し入れ口を開け閉めする、矩形(角型)のゲートバルブ(トランスファーバルブ)。VATのMONOVATシリーズ02/03にあたる。
開口の寸法は50×336mm(SEMI E21.1-1296)。駆動は複動式の空圧アクチュエータで位置表示が付き、型番の24は制御電圧24Vを示す。推奨する作動空気圧は2〜6bar(30〜90psi)。使える圧力は1×10⁻⁹ mbar〜1.2bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)。ゲートの差圧は両方向に1.2bar、開放時は30mbar以下。エア接続は内ねじ⅛"。メンテナンスまでの動作回数は500万回以上。使用温度はアルミ・標準位置表示で80℃以下、ベーカブルで150℃以下。シールはFKM。
共通の仕様はVATのMONOVATシリーズ02/03のデータシートによるもので、型番はデータシートの発注表にそのまま載っている。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
