中古 VAT 角型ゲートバルブ 02110-AA24-AQW1／0057
本体価格(税別、送料別)50,000円
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- メーカー
- VAT
- 型式
- 02110-AA24-AQW1／0057
- 機種
- 角型ゲートバルブ
- 管理番号
- Z20020755
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
02110-AA24-AQW1／0057 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 矩形(角型)ゲートバルブ MONOVAT シリーズ02/03(基板搬送用トランスファーバルブ) |
|---|---|
| 型番 | 02110-AA24-AQW1/0057 |
| 駆動方式 | 複動式 空圧アクチュエータ、位置表示付(型番の24は制御電圧24V) |
| 推奨作動空気圧 | 2〜6 bar(30〜90 psi)、エア接続 内ねじ⅛" |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁹ mbar〜1.2 bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)、アルミ硬質アルマイトは1×10⁻⁶ mbarから |
| ゲート差圧 | 1.2 bar(両方向)、開放時 ≤30 mbar |
| メンテナンスまでの動作回数 | 500万回以上 |
| 使用温度 | ≤80℃(アルミ+標準位置表示) / ≤150℃(ベーカブル) / ≤200℃(ステンレス・位置表示なし) |
| 材質 | 本体・ゲート アルミ EN AW-6082 またはステンレス AISI 316L、ベローズ AISI 633 |
| シール | FKM(バイトン、ゲートは加硫) |
| 位置表示の接点定格 | ≤50V AC/DC、≤0.1A(>5mA)、9ピン D-sub |
出典: 現品の銘板、shop.bannerindustries.com
VAT 02110-AA24-AQW1／0057 の装置概要 AIによる記述です
真空室どうしのあいだで、基板を出し入れする細長い開口を開け閉めする、矩形(角型)のゲートバルブ(トランスファーバルブ)。VATのMONOVATシリーズ02/03にあたり、半導体や液晶の製造装置で搬送室とプロセス室を仕切るのに使われる。
駆動は複動式の空圧アクチュエータで位置表示が付き、型番の24は制御電圧24Vを示す。推奨する作動空気圧は2〜6bar(30〜90psi)。使える圧力は1×10⁻⁹ mbar〜1.2bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)。ゲートの差圧は両方向に1.2bar、開放時は30mbar以下。エア接続は内ねじ⅛"。メンテナンスまでの動作回数は500万回以上。使用温度はアルミ・標準位置表示で80℃以下、ベーカブルで150℃以下、ステンレス・位置表示なしで200℃以下。本体とゲートはアルミ(EN AW-6082)かステンレス(AISI 316L)、シールはFKM。位置表示は9ピンのD-subで取り出す。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
