中古 VAT 圧力調整バルブ(APC) 61532-KEAC-0002/0001
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- メーカー
- VAT
- 型式
- 61532-KEAC-0002/0001
- 機種
- 圧力調整バルブ（APC）
- 管理番号
- Z22070764
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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61532-KEAC-0002/0001 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | バタフライ式 圧力制御バルブ(ステッピングモータ+圧力コントローラ内蔵) |
|---|---|
| 呼び径 | DN40(1½") |
| 材質・フランジ | ステンレス AISI 316L、ISO-KF(型番のKEから) |
| コントローラ構成 | センサ電源(±15V DC)内蔵、Logicインターフェース、センサ1点(型番のACから) |
| コンダクタンス | 60(分子流)、最小制御コンダクタンス0.05 L/s |
| 最大差圧 | 1000 mbar |
| 開閉時間 | 0.5(絞り動作時0.6) 秒 |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁸ mbar〜1.2 bar(abs)(ステンレス) |
| シール | FKM(バイトン) |
| 最高温度 | 本体≤120、周囲≤50 ℃ |
| 質量 | 3.3(ステンレス製 DN40) kg |
出典: shop.bannerindustries.com
VAT 61532-KEAC-0002/0001 の装置概要 AIによる記述です
本機は、真空チャンバー内の排気コンダクタンス（排気速度）を調整し、プロセス圧力を高精度に維持するためのコントローラ内蔵型バタフライ式圧力制御バルブです。半導体製造や真空コーティング、フラットパネルディスプレイ製造など、厳密な圧力管理が求められる真空プロセスにおいて広く活用されています。
バルブ本体と制御用コントローラが一体化されたオンボード設計となっており、外部コントローラの設置スペースを削減し、配線を簡略化できる点が特徴です。駆動部には高分解能ステッピングモーターを採用し、ガスの流量変動やプラズマ着火といったプロセスの急激な条件変化に対しても、適応型制御アルゴリズムによりオーバーシュートを抑え、目標圧力へ瞬時かつ滑らかに追従します。
本仕様は口径DN50（ISO-KFフランジ）を採用しており、バルブボディには軽量かつ熱伝導性に優れたアルミニウムが使用されています。シール材には耐薬品性と気密性に定評のあるFKM（フッ素ゴム）を採用しているため、高真空領域から大気圧付近までの幅広い圧力帯で長期間安定した性能を発揮します。また、フルストロークの開閉を約1秒で完了する高速応答性を備えており、製造プロセスのスループット向上に寄与します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。