中古角型ゲートバルブの在庫・価格

角型ゲートバルブは、開口部が長方形(スロット状)になった真空用の仕切り弁です。半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置で、基板を通す口や二つの真空チャンバーの間に取り付けられます。開けたときは基板と搬送ロボットのハンドが通れる横長の通路になり、閉じたときは両側の圧力差に耐えて気密を保ちます。丸型のゲートバルブが主に排気経路を仕切るのに対し、角型は搬送経路を仕切るための弁で、スリットバルブやトランスファーバルブとも呼ばれます。
大きさは、ウェハ用の開口幅200〜300mm台の小型品から、ガラス基板用の幅数mに及ぶ大型品までさまざまです。大型品のカタログ標準寸法の例は開口高さ50〜150mm、幅500〜1600mm程度で、これを超える特注品もあります。ボディと弁板にはアルミニウム合金かステンレス鋼を使い、ボディと弁座のリークレートは1×10^-9 mbar·L/s程度を仕様とする製品が一般的です。
仕組みの基本は、弁板を開口に沿って動かして通路をふさぎ、弁座に押し付けてOリングを潰し、気密をとることです。小型品は1回の動作でシールまで完了するものがありますが、大型品は「上昇してから押し付ける」2段階の動作(L字動作)をとる例が多く見られます。弁板を動かしている間はシール面が擦れないようにし、最後に面に垂直な方向へ押し付けます。こうしてパーティクルの発生とOリングの摩耗を抑えます。駆動には複動式のエアシリンダーがよく使われ、開閉の時間は1〜2秒程度です。大気側から駆動軸を通す部分には、溶接ベローズを使う方式と、軸シールの中間を排気する差動排気方式があります。
実務で特に注意したいのは差圧の条件です。閉じた状態では大気圧相当(約1bar)の差圧に耐える製品が多い一方、開けるときに許される差圧は数mbar程度と小さく、開ける前に両側の圧力をそろえる必要があります。差圧がかかったまま開けると、シールや機構を傷めたり、パーティクルを巻き上げたりします。シール面が受ける圧力の方向が決まっている製品もあるので、どちら側が大気に開放されるかを確かめてから取り付けます。温度の上限は、ボディと弁板で120℃前後、アクチュエーターと位置センサーで60℃前後が典型値です。ボディと弁板の温度差にも許容値が決まっています。成膜で生成物が付きやすい工程では、ヒーター付きの製品や表面処理(硬質アルマイト、ニッケルめっきなど)を選びます。シール材は標準がFKMで、腐食性ガスやプラズマにさらされる場合はパーフロロエラストマー系を選びます。
主な用途は、クラスターツールでの搬送室とプロセス室・ロードロック室の間の仕切りです。このほか、FPDや太陽電池のインライン成膜装置、有機EL蒸着装置の基板搬送路にも使われます。大気と真空の境目には、ハウジングを持たず弁板を直接チャンバーに押し当てるドアバルブ型も使われます。初回のメンテナンスまでの開閉回数は100万回から数百万回程度とされます。中古品や再使用品を評価するときは、累積開閉回数、弁板Oリングとベローズの状態、ヘリウムリーク試験の結果、位置センサーの動作を確認するのが実用的です。