中古 VAT 角型ゲートバルブ F02-114161/1 02006-CA24-1001
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- VAT
- 型式
- F02-114161/1 02006-CA24-1001
- 機種
- 角型ゲートバルブ
- 管理番号
- Z26011202
- 引渡・支払
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F02-114161/1 02006-CA24-1001 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 矩形(角型)ゲートバルブ MONOVAT シリーズ02(基板搬送用トランスファーバルブ) |
|---|---|
| 型番 | F02-114161/1 / 02006-CA24-1001 |
| 駆動方式 | 複動式 空圧アクチュエータ(制御電圧24V) |
| 推奨作動空気圧 | 2〜6 bar(30〜90 psi)、エア接続 内ねじ⅛" |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁹ mbar〜1.2 bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき) |
| ゲート差圧 | 1.2 bar(両方向)、開放時 ≤30 mbar |
| メンテナンスまでの動作回数 | 500万回以上 |
| 使用温度 | ≤80℃(アルミ+標準位置表示) / ≤150℃(ベーカブル) / ≤200℃(ステンレス) |
| 材質 | 本体・ゲート アルミ EN AW-6082 またはステンレス AISI 316L、ベローズ AISI 633 |
| シール | FKM(バイトン、ゲートは加硫) |
※共通仕様はVATのMONOVAT シリーズ02/03データシート(技術データ)。型番の下2桁のサイズコードが発注表(09/10/12/13)に無く、開口寸法は未確認。
出典: 現品の銘板、shop.bannerindustries.com
VAT F02-114161/1 02006-CA24-1001 の装置概要 AIによる記述です
半導体やFPDの製造装置で、搬送室と処理室の間の基板の出し入れ口を開け閉めする角型(矩形)のゲートバルブ。トランスファーバルブとも呼ばれ、基板を通すときだけ開き、処理中は閉じて両側の真空や雰囲気を切り分ける。
駆動は複動式の空圧アクチュエータで、制御電圧は24V、推奨作動空気圧は2〜6 bar(30〜90 psi)、エア接続は内ねじ⅛インチ。使用圧力範囲は1×10⁻⁹ mbar〜1.2 bar(abs)、ゲートにかけられる差圧は両方向とも1.2 barで、開くときの差圧は30 mbar以下。メンテナンスまでの動作回数は500万回以上とされる。使用温度はアルミ本体と標準の位置表示で80℃以下、ベーカブル仕様で150℃以下、ステンレス製で200℃以下。本体とゲートはアルミ EN AW-6082 またはステンレス AISI 316L、シールはゲートに加硫したFKM(バイトン)。
共通仕様は同シリーズのデータシートの値で、型番のサイズコードが発注表に無いため開口寸法は確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
