中古Convectron Gaugeの在庫・価格

Convectron Gaugeは、ピラニ真空計の一種である対流強化型ピラニ真空計（熱伝導式真空計）です。一般名として呼ばれることも多いですが、元は特定の製品群の名称です。測定範囲はおおむね1×10^-4 Torrから大気圧（約1000 Torr）までで、これを1本で受け持ちます。通常のピラニ真空計や熱電対真空計は、気体の熱伝導による熱損失しか使わないため、数Torrを超えると感度が鈍ります。この方式は高い圧力域で生じる対流による熱損失も使うことで、測れる範囲を大気圧側へ広げています。
仕組みを説明します。感温線には金めっきタングステンの細線を使い、ホイートストンブリッジの一辺に組み込みます。感温線は通常約125℃に保たれ、周囲の気体に奪われる熱が圧力によって変わります。その熱を補う電力をブリッジ電圧として取り出し、圧力に換算します。圧力が高いほどブリッジ電圧も高くなります。管内には温度補償素子があり、周囲温度が変わっても指示値がずれにくくなっています。ブリッジ電圧と圧力の関係は直線ではないため、コントローラは気体ごとの換算表（窒素・アルゴン・ヘリウムなど）を使って圧力値に直します。
実務で最も大事なのは、指示値が気体の種類・管の向き・管内の気体密度に左右されることです。換算表は窒素または空気を基準にするのが一般的です。ほかの気体では補正表を使うか、その気体専用の換算表に切り替える必要があります。たとえばアルゴンやヘリウムを導入して大気圧へ戻す（ベントする）工程で窒素用の値をそのまま読むと、実際の圧力と大きく食い違います。過加圧のおそれがあるため、ベント終点の判定には注意が必要です。
取り付け面でも注意点があります。約1 Torrを超える領域では対流を測定に使うため、管の軸を水平にして取り付ける必要があります。1 Torr未満ではどの向きでもほぼ正しく読めますが、それ以上の圧力では向きが違うと誤差が出ます。振動も感温線を対流で冷やし、指示値を高めにずらすので、ポンプ近くなどの振動源は避けます。また、凝縮した液体が管内にたまらないよう、接続口を下向きにする配置が推奨されています。
典型的な仕様は次のとおりです。動作温度はおおむね0〜50℃です。ベーキングは150℃程度までで、ケーブルや電子回路を外した非通電の状態に限られます。管の内容積は数十cm³程度です。接液部材はタングステン、ステンレス鋼、ガラスなどです。吸気口に微細なメッシュを設け、粒子が入り込むのを防ぐ構造が一般的です。
防爆構造ではないため、可燃性・爆発性の気体の測定には使いません。故障して感温線が高温になると、発火点を超えるおそれがあるからです。油蒸気やプロセス副生成物が感温線に付着すると表面状態が変わり、指示値がずれます。そのため汚れやすいプロセスでは定期的な点検や交換を前提にします。測定範囲の下限付近（10^-4 Torr台）は分解能の限界に近いので、定量的な管理には10^-3 Torr台以上を目安にするのが無難です。
主な用途は、粗引きから中真空までの監視です。真空チャンバの排気（ポンプダウン）から大気開放までの全行程を1本で追えるため、ロードロック室の排気・ベント管理、前段ポンプ側の配管（フォアライン）や粗引きラインの監視に広く使われます。もう一つの代表的な用途が、電離真空計と組み合わせた運用です。高真空を測る電離真空計を点灯させてよい圧力の判定（インターロック）に使い、設定値リレーでバルブやポンプの切り替えに使います。用途は半導体・薄膜成膜装置、電子顕微鏡や表面分析装置、真空炉、研究用の真空装置と幅広いです。大気圧付近を高い精度で管理したい場合や、気体の種類が変わる工程では、気体の種類に依存しない隔膜真空計と併用する構成がよく採られます。