中古 Granville-Phillips Convectron Gauge No275

本装置は、大気圧から高真空領域まで幅広い圧力測定が可能な対流型真空計（コンベクトロンゲージ）のセンサーチューブです。一般的な熱伝導型ピラニゲージが測定を苦手とする10 Torrから大気圧付近の高圧力帯において、気体の熱対流による冷却効果を測定原理に組み込むことで、測定精度と安定性を大幅に向上させています。この独自の構造により、1.0 × 10^-4 Torrから1000 Torr（約1.3 × 10^-2 Pa 〜 1.3 × 10^5 Pa）という7桁にわたる広い測定範囲を単一のセンサーでカバーすることが可能です。

測定素子には主に金メッキタングステンを採用しており、微小な圧力変化に対しても0.1秒以下という高速な応答性を実現しています。真空チャンバーの粗引きプロセスのモニタリング、大気開放時の圧力確認、各種システムインターロックの制御など、半導体製造装置や研究開発用の真空システムにおいて標準的な圧力測定器として広く用いられています。堅牢な構造設計でありながら可動部品を持たないため、長期間にわたり信頼性の高い測定データを提供します。