中古 Granville-Phillips Convectron Gauge No275

対流を利用した熱伝導式真空計（コンベクトロンゲージ）のセンサー部（測定子）です。一般的なピラニ真空計が中真空領域の測定に限定されるのに対し、本装置は気体の熱伝導に加えて対流による冷却効果を応用することで、1.0×10^-4 Torrから大気圧（1000 Torr）までの極めて広い圧力範囲を単一のセンサーで連続的に測定することが可能です。

センサー内部には金メッキタングステン、またはプラチナ製の微細なフィラメントが配置されており、真空チャンバー内の圧力変動に対するミリ秒単位の高速な応答性と、優れた測定再現性を備えています。主に半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器において、真空ポンプの粗引きラインの圧力監視や、ロードロック室の大気圧復帰の確認など、多岐にわたる真空プロセスの制御に用いられます。

本装置は測定子単体であるため、実際の圧力読み取りや出力制御には専用のコントローラーモジュールが必要です。また、測定原理の特性上、指示値は対象となる気体の熱伝導率に依存して変化します。工場出荷時は窒素（または空気）を基準に校正されているため、アルゴンやヘリウムなど異なるガス環境で使用する際は、ガス種に応じた適切な換算係数を適用する必要があります。