中古 Granville-Phillips Convectron Gauge No275
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- メーカー
- Granville-Phillips
- 型式
- No275
- 機種
- Convectron Gauge
- 管理番号
- Z17032750
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
No275 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 方式 | 対流強化ピラニ(Convectron) |
|---|---|
| 測定範囲 | 1×10⁻⁴〜1000 Torr |
| 測定範囲(SI換算) | 1.3×10⁻²〜1.3×10⁵ Pa |
| 校正 | 1本ごとに工場校正済み(コントローラ側の調整不要) |
| フィラメント | 金メッキタングステン(シングル) |
| 真空側材質 | 304/316ステンレス、ガラス、金メッキタングステン、ニッケル、PFPE |
| 使用温度 | 0〜50 ℃ |
| 接続ポート(選択肢) | 1/8インチNPT、1/4インチVCR、KF16、KF25、KF40、DN16CF、DN40CF |
※上記は標準的なチューブ本体の仕様です。実際の接続フランジ形状やオプション等により一部仕様が異なる場合があります。
出典: mks.com、lesker.com
Granville-Phillips No275 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の熱伝導と対流の原理を組み合わせて応用し、大気圧から高真空領域までの広範囲な圧力測定を可能にした対流型ピラニ真空計のセンサーチューブです。従来のピラニ真空計や熱電対真空計が1 Torr(約133 Pa)以上の圧力帯で感度が低下するのに対し、本装置は気体の対流による冷却効果を測定に利用することで、1×10^-4 Torrから1000 Torr(大気圧)までの連続的かつシームレスな測定を実現しています。
センサー内部のフィラメントには、標準仕様として金メッキされたタングステンワイヤーが採用されており、長期間にわたって安定した応答性と高い測定再現性を維持します。可動部品を持たない堅牢な構造であるため、機械的な振動や衝撃に対する耐久性にも優れています。
なお、1 Torr以上の圧力領域においては気体の対流効果が測定値に大きく影響するため、正確な測定を行うにはセンサーの長軸(中心軸)を水平にして設置する必要があります。半導体製造装置のロードロック室や、真空排気システムの粗引きラインのモニタリングなど、多様な真空プロセスの圧力制御において基準として広く採用されている測定器です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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