中古 Granville-Phillips Convectron Gauge No275

本装置は、大気圧から高真空領域までの広範な圧力測定を単一のセンサーで可能にする対流型ピラニ真空計です。一般的な熱電対ゲージやピラニゲージが10^-3 Torrから数Torr程度の測定範囲に留まるのに対し、本センサーはガス冷却効果（熱伝導と対流）を利用する独自の設計により、1.0×10^-4 Torrから1,000 Torr（大気圧）までの連続的な圧力測定を実現しています。

センサー内部のフィラメントは、圧力変化に応じた熱損失を微小な抵抗変化として捉え、高速かつ安定した応答（0.1秒未満）を提供します。これにより、粗引きポンプの監視、真空チャンバーの大気開放の確認、プロセス制御システムへのインターフェースなど、幅広い真空システムにおいて信頼性の高いデータ取得が可能です。また、1 Torr以上の圧力域ではガスによる対流効果を利用するため、正確な測定を行うにはセンサーの軸を水平にして設置する構造的な特徴を持っています。

フィラメント材質には金メッキタングステンやプラチナなどが採用されており、測定対象のガス種や環境に応じた堅牢な設計となっています。ケーブルを取り外した状態であれば最大150℃までのベークアウト処理にも対応し、半導体製造装置や分析機器などの厳しい真空環境下でも長期的な安定性を維持します。