中古 VAT ゲートバルブ 95244-PAGC-AAQ1/0091

真空チャンバーの圧力制御と、チャンバーと排気系の隔離(仕切り)を1台でこなすコンボバルブ。圧力を制御するときは弁体の開度を細かく変えて排気量を調整し、処理の合間やメンテナンスのときは完全に閉じてチャンバーとポンプ側を切り離す。圧力制御バルブとゲートバルブを別々に置く場合に比べて、排気ラインを短くまとめられる。
シリーズ952の系列で、アクチュエータとコントローラを一体にした構成。本体にはD-subコネクタが複数並び、装置側の制御系とつないで開度の指令や状態の信号をやり取りする。半導体やFPDの成膜装置・エッチング装置の排気部に使われる系統のバルブで、ターボ分子ポンプの手前に置かれることが多い。
口径・使用圧力範囲・インターフェースの種類は型番の記号ごとに異なり、ここでは確かめられていない。組み合わせる装置側の通信方式やコネクタの配列は、型番で確かめる必要がある。