中古 その他 圧力調整バルブ（APC）
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- メーカー
- その他
- 型式
- —
- 機種
- 圧力調整バルブ（APC）
- 管理番号
- Z26012623
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フランジ規格 | [実機の規格を入力 例：ISO-F 160] |
|---|---|
| バルブ内径 | [実機の数値を入力 例：150 mm] |
| 圧力制御範囲 | [実機の数値を入力 例：1×10^-6 Pa ～ 大気圧] |
| フルストローク開閉時間 | [実機の数値を入力 例：1.5 sec] |
| 位置制御分解能 | [実機の数値を入力 例：10,000 steps] |
| バルブボディ材質 | [実機の材質を入力 例：アルミニウム合金] |
| シール材質 | [実機の材質を入力 例：FKM（フッ素ゴム）] |
| 許容周囲温度 | [実機の数値を入力 例：0 ℃ ～ 50 ℃] |
| 最大差圧（クローズ時） | [実機の数値を入力 例：1.2 bar] |
| 駆動方式 | ステッピングモーター駆動 |
その他 圧力調整バルブ（APC） の装置概要 AIによる記述です
※システム通知：ご指定の「型式」および「メーカー」がプロンプトに入力されていなかったため、Web検索による特定機種の仕様取得が実行できませんでした。本回答は一般的な圧力調整バルブ（APC）の概要および仕様のテンプレートとして作成しています。そのまま掲載せず、必ず実機の正確な数値に書き換えてご使用ください。
圧力調整バルブ（APC：Auto Pressure Controller）は、真空チャンバー内の圧力を高精度かつ自動的に制御するためのコンポーネントです。半導体製造やFPD製造における各種真空プロセス（CVD、スパッタリング、ドライエッチングなど）において、プロセスガスの流量変動や真空ポンプの排気速度の変化に関わらず、チャンバー内を目標圧力に一定に維持する重要な役割を果たします。
本体内部には高精度のステッピングモーターが組み込まれており、圧力センサー（キャパシタンスマノメーター等）からのフィードバック信号を基に、バルブの開口面積（コンダクタンス）を高速かつ精密に調整します。一般的なAPCバルブは、フルストロークでの開閉時間が1.0〜3.0秒程度と非常に速く、バルブ位置の制御分解能も10,000〜100,000ステップに及ぶため、微小な圧力変動にも瞬時に対応可能です。これにより、シビアな圧力管理が求められるプロセスの安定化と、製品の歩留まり向上に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。