中古 日立 Hitachi イオンコーター E-1010

走査電子顕微鏡（SEM）およびエネルギー分散型X線分析（EDX）の試料前処理に用いられる真空コーティング装置です。絶縁性試料の表面にナノメートルオーダーの導電性薄膜を均一に形成し、電子線照射に伴うチャージアップ（帯電現象）や熱ダメージを防止することで、鮮明な高倍率観察を可能にします。チャンバー内を油回転真空ポンプで排気後、直流グロー放電を利用してターゲット材（金、白金、白金パラジウムなど）をイオン衝撃により弾き飛ばし、試料表面へスパッタリングする仕組みを採用しています。放電電流とタイマーを組み合わせることで、観察目的に合わせた膜厚のコントロールが可能です。

さらに、本機にはカーボンコーター機能が付属しており、金属スパッタリングに加えてカーボン蒸着による処理にも対応しています。カーボン膜は軽元素でありX線の吸収や干渉が極めて少ないため、EDXを用いた微小領域の元素分析や反射電子像観察を行う際のコーティングとして最適です。金属スパッタとカーボン蒸着の両機能を備えることで、表面の微細形態観察から正確な成分分析まで、多様化する電子顕微鏡の試料調製ニーズを総合的にカバーできる実践的な構成となっています。