中古 日立 Hitachi イオンコーター E-1010

本装置は、走査電子顕微鏡（SEM）での観察において、非導電性試料に導電性を付与するための前処理用スパッタリング装置です。試料表面に金（Au）や白金（Pt）などの金属薄膜をナノメートルオーダーで均一にコーティングすることで、電子線照射時のチャージアップ（帯電現象）を防止し、高分解能で鮮明な画像取得を可能にします。

DCマグネトロン放電方式を採用しているため、比較的低い真空度および低電圧での安定した放電が可能です。これにより、スパッタリング中の電子やイオンの衝突に伴う試料への熱ダメージが大幅に低減されており、熱に弱い生体試料やプラスチック、高分子材料などの前処理にも適応します。

操作面では、内蔵のピラニ真空計によるチャンバー内の真空度確認、フロントパネルのダイヤルによるスパッタ電流（0〜50mA）の調整、およびデジタルタイマーによるコーティング時間の管理を直感的かつ独立して行うことができます。排気系として排気速度50L/min程度の油回転真空ポンプと組み合わせて使用し、短時間で再現性の高い成膜処理を実行します。基礎研究から産業用の品質管理まで、SEM観察に欠かせない標準的な試料作製プロセスを提供する装置です。