中古 日立 Hitachi イオンコーター E-1030
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- メーカー
- 日立 Hitachi
- 型式
- E-1030
- 機種
- イオンコーター
- 管理番号
- Z26071011
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
E-1030 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 用途 | SEM試料への金属コーティング(帯電防止) |
|---|---|
| 電極 | 対向平行円板(マグネトロン構成)、ターゲット高さ調整つまみ付き |
| 試料サイズ | 最大直径55mm、最大高さ20mm |
| 放電時の真空度 | 6〜8(Arガス導入で一定に保つ) Pa |
| Arガス供給圧 | 0.03〜0.05 MPa |
| 排気 | ロータリーポンプ(VR16-K等)、本体外置き |
| 組込ユニット | 膜厚測定ユニット、電子冷却式試料ステージ冷却ユニット |
| 特別付属装置(オプション) | 試料エッチングユニット、エバポレーションユニット、水冷式試料ステージ冷却ユニット |
| 電源 | 単相AC100V±10% 50/60Hz 15A |
| 設置環境 | 15〜30℃、湿度70%以下。SEM・TEMの近くを避ける |
| 本体寸法(W×D×H) | 508×420×484 mm |
| 質量 | 約56(ロータリーポンプを含む) kg |
※寸法・電源・付属装置は社内保管の取扱説明書(1988年、日立サイエンスシステムズ)の設置章による。放電電流・膜厚レートなどの性能仕様は取説の機能章(未読)にあり未記載
※試料サイズと電極形式は中古計測器販売サイト(二次情報)による
※ロータリーポンプ・冷却ユニット・ターゲットの付属は個体で確認のこと
※取説の表2-1では大きさを 450(W)×360(D)×380(H)mm、質量を約56kg(R.P.含む)としている。本文の本体寸法(508×420×484mm)とは値が違うが、突起部を含むかどうかの差とみられる。
出典: メーカー資料、usedsale.jp、bunseki.solan.chubu.ac.jp
日立 Hitachi E-1030 の装置概要 AIによる記述です
走査電子顕微鏡(SEM)で観察する試料の表面に金属を薄くスパッタして付け、電子線による帯電を防ぐためのイオンコーター。導電性の無い試料をSEMで観察するときの前処理に使われる。
電極は対向する平行円板のマグネトロン構成で、ターゲットの高さを調整するつまみが付く。試料は最大直径55mm・高さ20mmまで入り、放電中はArガスを入れて6〜8Paに保つ。Arガスの供給圧は0.03〜0.05MPa、排気は本体の外に置くロータリーポンプで行う。膜厚測定ユニットと電子冷却式の試料ステージ冷却ユニットを組み込み、試料エッチング・エバポレーション・水冷式の試料ステージ冷却のユニットをオプションで足せる。電源は単相AC100V±10% 50/60Hz 15A、設置する場所は15〜30℃・湿度70%以下で、SEMやTEMの近くは避ける。本体の寸法は508×420×484mm(W×D×H)、質量は約56kg(ロータリーポンプを含む)。
放電電流や膜厚レートなどの性能は確かめられていない。試料サイズと電極の形式は中古計測器販売サイトの記載による二次情報。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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