中古 エドワーズ Edwards ターボ分子ポンプ（TMP） SIP-301H
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- メーカー
- エドワーズ Edwards
- 型式
- SIP-301H
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 仕様
- 本体、コントローラーのみでケーブル無し
- 管理番号
- Z26021403
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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SIP-301H の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気方式 | 磁気軸受式ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| 潤滑方式 | オイルフリー（非接触支持） |
| 排気速度 (N2) | 約 300 L/sec |
| 排気速度 (H2 / He) | 約 250 L/sec |
| 到達圧力 | 10^-7 ～ 10^-8 Pa オーダー （※使用フランジおよびベーキング条件による） |
| 最大許容背圧 | 約 100 ～ 200 Pa |
| 起動時間 | 約 5 分 |
| 冷却方式 | 水冷 または 空冷 |
| 吸気口フランジ（代表例） | VG100、ICF152、または ISO100 等 |
| 排気口フランジ（代表例） | KF25 または KF40 |
| 構成品 | ポンプ本体、専用コントローラー |
| 欠品状態 | 各種接続ケーブル、電源ケーブルは付属なし |
エドワーズ Edwards SIP-301H の装置概要 AIによる記述です
本装置は、磁気軸受（磁気浮上）方式を採用した高性能ターボ分子ポンプ（TMP）です。内部のローターを磁力によって非接触で支持し高速回転させる機構により、機械的なベアリングを使用していません。そのため完全なオイルフリー排気が可能であり、潤滑油の逆拡散によるチャンバー内のコンタミネーション（汚染）を防止します。半導体製造プロセス、各種表面分析機器、真空蒸着装置など、極めてクリーンな高真空・超高真空環境が要求される用途に適しています。
また、非接触回転であるため機械的な摩耗が発生せず、長寿命かつ定期的なベアリング交換が不要（メンテナンスフリー）です。稼働時の振動や騒音が非常に低いことも、精密機器を扱う環境において大きな利点となります。排気能力としては、窒素（N2）に対して約300 L/secの速度を備えており、効率的な真空引きを実現します。
なお、本品は「ポンプ本体」および「専用コントローラー」のみの構成となります。本体とコントローラー間を接続する専用ケーブル、および電源ケーブル類は付属しておりません。システムに組み込んで稼働させるためには、別途適合するケーブル類の調達、ならびに粗引き用の補助ポンプなどが必要となりますのでご注意ください。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。