中古 島津製作所 Shimadzu ターボ分子ポンプ（TMP） TMP-803LM(O)
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- メーカー
- 島津製作所 Shimadzu
- 型式
- TMP-803LM(O)
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 年式
- 2014年
- 管理番号
- Z26021421
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
TMP-803LM(O) の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 800 L/s |
|---|---|
| 排気速度(ヘリウム) | 800 L/s |
| 排気速度(水素) | 700 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁹(ベーキング後・金属ガスケット時。Oリングガスケット時は10⁻⁷) Pa |
| 吸気口フランジ | ICF203 |
| 排気口フランジ | KF40 |
| 圧縮比(N2) | 1×10⁹ |
| 定格回転数 | 35000 rpm |
| 軸受方式 | 磁気軸受 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水量 | 1〜3 L/min |
| 最大連続吸気圧力 | 400 Pa |
| 最大連続排気口圧力 | 630 Pa |
| 起動時間 | 5分以内 |
| 吸気口ベーキング温度 | 120 ℃ 以下 |
※型式末尾の「(O)」の意味は資料に記載がなく未確認(カタログの注記ではOリングガスケット使用時の到達圧力が10⁻⁷Pa台とされている)
※排気速度は保護ネットなしの値。保護ネット装着時のN2排気速度は730L/s
※吸気口フランジはICF203が標準で、ISO160およびJIS VG150仕様もある
※出典は社内保管のカタログ(TMP-1003M/803M系の仕様表2ページ)
出典: メーカー資料
島津製作所 Shimadzu TMP-803LM(O) の装置概要 AIによる記述です
高速で回る多段の翼で気体分子をはじき飛ばして排気する、磁気軸受形のターボ分子ポンプ(TMP)。軸受に接触部や潤滑油が無いため、油の汚染を嫌う半導体製造装置や表面分析装置、成膜装置の高真空・超高真空の排気に使われ、粗引き用の補助ポンプと組み合わせて使う。
排気速度は800L/s(窒素・ヘリウムとも、保護ネットなし)、水素では700L/sで、保護ネットを付けると窒素で730L/sになる。到達圧力はベーキング後・金属ガスケットで10⁻⁹Pa台(Oリングガスケットでは10⁻⁷Pa台)、窒素の圧縮比は1×10⁹。定格回転数は35000rpm、起動時間は5分以内。吸気口フランジはICF203が標準で、ISO160やJIS VG150の仕様もあり、排気口フランジはKF40。冷却は水冷で冷却水量は1〜3L/min、最大連続吸気圧力は400Pa、最大連続排気口圧力は630Pa、吸気口のベーキング温度は120℃以下。
型式末尾の「(O)」の意味は資料に記載がなく、確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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