中古 THORLABS 光学ステージ（自動アライメント3軸） NanoMax 300
この商品は売却済みです(2026年8月)。同じ型式・同じ機種の在庫をご覧ください。
- メーカー
- THORLABS
- 型式
- NanoMax 300
- 機種
- 光学ステージ
- 仕様
- MAX312D/M,KNA-IR,TPS002
閉ループ - 管理番号
- Z260511161
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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NanoMax 300 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 構成 | MAX312D/M(3軸フレクシャーステージ、差動駆動+開ループピエゾ)+KNA-IR(NanoTrak自動アライメント Kキューブ)+TPS002(電源) |
|---|---|
| 耐荷重 | 1 kg |
| ストローク(粗動) | 4(手動・モーター) mm |
| ストローク(微動) | 300 µm |
| ストローク(ピエゾ) | 20(-0.0/+0.2) µm |
| 分解能 | 粗動 0.5mm/回転、微動 50µm/回転、ピエゾ 約10nm |
| ピエゾ | 最大入力75V、静電容量3.6µF |
| 上面平行度 | <100 µm |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
THORLABS NanoMax 300 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、ナノメートルオーダーの精密な位置決めと自動アライメントに特化した3軸（X、Y、Z）フレクシャーステージです。ガイド機構に並列フレクシャーヒンジ（板ばね）構造を採用することで、従来のベアリングステージで発生する摩擦やバックラッシュ、スティクションを完全に排除し、極めて滑らかで再現性の高い可動を実現しています。
自動アクチュエータ（ステッピングモーター等）による粗動と、ピエゾアクチュエータによる微動を組み合わせることで、広範囲の移動とナノスケールの微細な位置決めを両立しています。各軸の粗動ストロークは4 mmを確保しており、ピエゾアクチュエータによる微動ストロークは20 µmとなります。
クローズドループ制御（歪みゲージセンサー内蔵）においては、5 nmの極めて高い分解能を誇り、光ファイバーの調芯、フォトニクスデバイスの高精度アライメント、導波路の位置合わせなど、シビアな光学実験や検査・実装工程において高いパフォーマンスを発揮します。また、各軸間のクロストーク（ロール、ピッチ、ヨー）は全ストロークにわたり20 µrad以下に抑えられており、多軸駆動時でも位置ずれを最小限に留める堅牢な構造（最大耐荷重1 kg）を備えています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。