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中古 セイコー精機 Seiko ターボ分子ポンプ STP-451

本体価格(税別、送料別)300,000円
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メーカー
セイコー精機 Seiko
型式
STP-451
機種
ターボ分子ポンプ(TMP)
年式
2001.03
仕様
排気速度 N2 480L/s、定格回転数48,000rpm、質量12kg。銘板・公開仕様より。
管理番号
Z26073002
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

排気速度480 L/s
排気速度(N₂、銘板・公開仕様)480 L/sec

STP-451 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

定格回転数48,000 rpm
到達圧力10⁻⁷(10⁻⁹ Torr) Pa
圧縮比(N₂)>10⁸
吸気口フランジISO160
排気口KF25
軸受5軸能動型磁気軸受(非接触・無潤滑)
冷却空冷
質量(ポンプ本体)12 kg

※排気速度は資料により480 L/sec(銘板・Provac)と440 L/sec(PTB Sales)の記載があり、フランジ仕様や世代で異なる可能性がある。銘板値を優先した

※運転には専用の磁気軸受コントローラと接続ケーブルが必須。対応コントローラの型式(SCU系)と付属の有無は要確認

※吸気口はISO160が標準だが、VG150やCFなど別フランジ仕様も存在するため現物で要確認

出典: ptbsales.com、provac.com

セイコー精機 Seiko STP-451 の装置概要 AIによる記述です

ロータを5軸制御の能動型磁気軸受で非接触に浮上させる磁気浮上式(マグレブ)ターボ分子ポンプで、軸受に潤滑油やグリスを使わないため、排気側からの油汚染がなく、振動と騒音が小さいことが特長です。取付姿勢の制約が少なく、電子顕微鏡や表面分析装置、半導体製造装置の排気系で広く使われてきたSTPシリーズの400 L/secクラスにあたります。現品の銘板および公開仕様では窒素の排気速度480 L/sec、定格回転数48,000 rpm、質量12 kgで、吸気口はISO160、排気口はKF25が標準です。到達圧力は10⁻⁷ Pa(10⁻⁹ Torr)台、圧縮比は窒素で10⁸以上とされ、空冷で運転できます。運転には専用の磁気軸受コントローラ(制御電源)と接続ケーブルが必須で、停電時はコントローラ内の回生電力とタッチダウン軸受でロータを保護する仕組みです。中古品につき、組み合わせるコントローラの型式と有無、ケーブル、タッチダウン軸受の状態は現物で確認してください。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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