中古 セイコー精機 Seiko ターボ分子ポンプ STP-451
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- メーカー
- セイコー精機 Seiko
- 型式
- STP-451
- 機種
- ターボ分子ポンプ(TMP)
- 年式
- 2001.03
- 仕様
- 排気速度 N2 480L/s、定格回転数48,000rpm、質量12kg。銘板・公開仕様より。
- 管理番号
- Z26073002
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 排気速度 | 480 L/s |
|---|---|
| 排気速度(N₂、銘板・公開仕様) | 480 L/sec |
STP-451 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 定格回転数 | 48,000 rpm |
|---|---|
| 到達圧力 | 10⁻⁷(10⁻⁹ Torr) Pa |
| 圧縮比(N₂) | >10⁸ |
| 吸気口フランジ | ISO160 |
| 排気口 | KF25 |
| 軸受 | 5軸能動型磁気軸受(非接触・無潤滑) |
| 冷却 | 空冷 |
| 質量(ポンプ本体) | 12 kg |
※排気速度は資料により480 L/sec(銘板・Provac)と440 L/sec(PTB Sales)の記載があり、フランジ仕様や世代で異なる可能性がある。銘板値を優先した
※運転には専用の磁気軸受コントローラと接続ケーブルが必須。対応コントローラの型式(SCU系)と付属の有無は要確認
※吸気口はISO160が標準だが、VG150やCFなど別フランジ仕様も存在するため現物で要確認
出典: ptbsales.com、provac.com
セイコー精機 Seiko STP-451 の装置概要 AIによる記述です
ロータを5軸制御の能動型磁気軸受で非接触に浮上させる磁気浮上式(マグレブ)ターボ分子ポンプで、軸受に潤滑油やグリスを使わないため、排気側からの油汚染がなく、振動と騒音が小さいことが特長です。取付姿勢の制約が少なく、電子顕微鏡や表面分析装置、半導体製造装置の排気系で広く使われてきたSTPシリーズの400 L/secクラスにあたります。現品の銘板および公開仕様では窒素の排気速度480 L/sec、定格回転数48,000 rpm、質量12 kgで、吸気口はISO160、排気口はKF25が標準です。到達圧力は10⁻⁷ Pa(10⁻⁹ Torr)台、圧縮比は窒素で10⁸以上とされ、空冷で運転できます。運転には専用の磁気軸受コントローラ(制御電源)と接続ケーブルが必須で、停電時はコントローラ内の回生電力とタッチダウン軸受でロータを保護する仕組みです。中古品につき、組み合わせるコントローラの型式と有無、ケーブル、タッチダウン軸受の状態は現物で確認してください。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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