中古 ファイファー Pfeiffer ターボ分子ポンプ TPU 520 KGT
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- メーカー
- ファイファー Pfeiffer
- 型式
- TPU 520 KGT
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 仕様
- 銘板：排気速度300L/s、作動油F3 35mL、質量18.5kg。
- 管理番号
- Z26073003
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| 排気速度 | 300 L/s |
|---|---|
| 排気速度（N₂、銘板値） | 300 L/sec |
| 潤滑油（銘板） | F3、35 mL |
| 質量（銘板） | 18.5 kg |
TPU 520 KGT の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度（N₂、DN160 ISO-K仕様の場合） | 500 L/sec |
|---|---|
| 排気速度（N₂、DN100 ISO-K仕様の場合） | 300 L/sec |
| 到達圧力 | 1×10⁻¹⁰ mbar |
| 排気口フランジ | DN25 ISO-KF |
| 軸受 | 高真空側 永久磁石軸受／背圧側 オイル潤滑セラミック玉軸受 |
| 冷却方式 | 空冷または水冷 |
| 推奨背圧ポンプ | 1.5〜16 m³/h |
※520シリーズは吸気フランジ径（DN100／DN160）で排気速度が異なる。現品の銘板は300 L/secのため、吸気フランジ規格は現物で要確認
※型式末尾のKGTは仕様記号と考えられるが公式資料で意味を確認できていない
※運転には専用の電子ドライブユニット（TCP系）が必要。付属の有無は要確認
※旧Balzers製品のため、メーカーの現行サポート状況は要確認
出典: ajvs.com
ファイファー Pfeiffer TPU 520 KGT の装置概要 AIによる記述です
高真空側に永久磁石式の非接触軸受、フォアライン側にオイル潤滑のセラミック玉軸受を組み合わせたハイブリッド軸受のターボ分子ポンプで、Balzers時代から続く520シリーズに属します。同シリーズは吸気フランジ径で排気速度が分かれ、DN160 ISO-Kで窒素500 L/sec、DN100 ISO-Kで窒素300 L/secとされています。現品の銘板は排気速度300 L/secと表示されているため、DN100相当の仕様と考えられます。到達圧力は適切なロータリーポンプを背圧側に用いた場合で1×10⁻¹⁰ mbar台、排気口はDN25 ISO-KF、冷却は空冷または水冷が選べる構造です。潤滑油はBalzers指定のF3を用い、現品の銘板記載量は35 mLです。表面分析装置、成膜装置、リークテスタなど、清浄な高真空を必要とする一般的な排気系に使われてきた機種で、運転にはTCP系の専用ドライブユニットが必要です。中古品のため、対応する電源ユニットの有無、軸受オイルの状態、実際の吸気フランジ規格を確認したうえでの使用が前提になります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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