中古 バリアン Varian ターボ分子ポンプ（TMP） V70LP
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- メーカー
- バリアン Varian
- 型式
- V70LP
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 年式
- 2010年
- 管理番号
- Z26082802
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
V70LP の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 N2(CF 4.5インチ/ISO63) | 68 L/sec |
|---|---|
| 排気速度 N2(CF 2.75インチ/KF40) | 45 L/sec |
| 排気速度 He(CF 4.5インチ/ISO63) | 60 L/sec |
| 排気速度 H2(CF 4.5インチ/ISO63) | 45 L/sec |
| 圧縮比 N2 | 5×10^8 |
| 到達圧力(メカニカル補助ポンプ使用時) | 2×10^-10 mbar |
| 到達圧力(ダイアフラム補助ポンプ使用時) | 2×10^-9 mbar |
| 吸気フランジ | CF 4.5インチ / ISO63 / CF 2.75インチ / KF40(型番により異なる) |
| 排気フランジ | KF16 |
| 回転数 | 75000 rpm |
| 起動時間 | 60 秒 未満 |
| モーター入力 | 三相54 V / 1250 Hz(専用コントローラーから供給) |
| 冷却 | 自然空冷(強制空冷・水冷はオプション) |
| ベーク温度(吸気フランジ上限) | CF:120 / ISO:80 ℃ |
| 質量 | ISO:1.7 / CF:2.5 kg |
※吸気フランジの違いで4型番(969-9365 ISO63 / 969-9366 CF4.5インチ / 969-9367 KF40 / 969-9368 CF2.75インチ)があり、排気速度が異なる。現品のフランジは要確認
※ポンプ単体では回転しない。専用のTurbo-Vコントローラー(969-9405系等)が必要
出典: idealvac.com
バリアン Varian V70LP の装置概要 AIによる記述です
真空チャンバーを高真空から超高真空域まで排気するための小型ターボ分子ポンプです。高周波モーターで回転するタービンに翼列10段とマクロトール段4段を組み合わせた構成で、定格回転数は75,000 rpm、起動時間は60秒未満とされています。窒素の排気速度は吸気フランジによって異なり、CF 4.5インチまたはISO63では68 L/sec、CF 2.75インチまたはKF40では45 L/secです。窒素の圧縮比は5×10^8で、ベーク後の到達圧力はメカニカル補助ポンプ使用時で2×10^-10 mbarとされています。
補助ポンプ側の接続はKF16で、推奨補助ポンプはロータリーポンプDS102またはダイアフラムポンプSH100です。モーターは三相54 V・1250 Hzで駆動されるため、単体では動作せず専用のTurbo-Vコントローラーが必要です。冷却は自然空冷が標準で、高負荷時用に強制空冷・水冷キットが用意されています。軸受は永久潤滑で、取付姿勢は任意です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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