中古クライオポンプ・クライオコンプレッサーの在庫・価格（鈴木商館）

クライオポンプ・クライオコンプレッサーは、極低温に冷やした面に気体を凝縮させたり吸着させたりして排気するクライオポンプと、その冷却を支える冷凍機、ヘリウムの圧縮機、周辺の機器の分野である。油を使わず、水蒸気を大きな速さで排気できるため、スパッタ装置やイオン注入装置、半導体の製造装置、研究用の高真空・超高真空装置で広く使われている。ポンプの中に回転する部分が無いため振動が小さく、大きな口径でも比較的簡単な構造で高い排気速度が得られるのも特長である。
クライオポンプの冷却には、ギフォード・マクマホン(GM)方式などの小型の冷凍機が使われることが多い。ポンプ本体に組み込まれた冷凍機の冷える部分をコールドヘッドと呼び、二段の冷却ステージを持つ。一段目のパネルで主に水蒸気を凝縮させ、より冷たい二段目のパネルで窒素やアルゴンを凝縮させ、二段目に貼った活性炭で水素などの凝縮しにくい気体を吸着する。コールドヘッドへは、クライオコンプレッサーが圧縮したヘリウムガスをフレキシブルホースで送り、戻ってきたヘリウムを再び圧縮して循環させる。
クライオコンプレッサーの中には、ヘリウムに混ざる圧縮機の油分を取り除くアドソーバー(吸着器)があり、決まった運転時間で交換する消耗部品になっている。冷凍機は、クライオポンプのほか、試料を冷やすクライオスタットや、液体を使わない冷却装置にも使われ、極低温冷凍機として単体で扱われることもある。クライオメーターやクライオナビのような機器は、コールドヘッドの温度の表示や運転状態の管理、再生の手順を受け持つ。
液体窒素や液体ヘリウムを溜めるデュワーと、冷やした面で水蒸気などを捕まえるクライオトラップ(コールドトラップ)も、極低温を使う機器としてこの分野に入る。クライオトラップは拡散ポンプやターボ分子ポンプの吸気側に置いて、水蒸気の排気を補ったり油の蒸気を捕まえたりするのに使われる。
クライオポンプは溜め込み式のポンプなので、凝縮した気体が一定量に達したら、温めて気体を追い出す再生が要る。選ぶときは、排気したい気体と量、再生の頻度を許せるかを考え、停電や冷却水の停止で温まったときに再生をやり直す手間も含めて運用を見込んだうえで、ポンプの口径とコンプレッサーの能力、コールドヘッドとの組合せを決める。中古では、ポンプ本体とコンプレッサー、ホースが別々に流通することが多いため、組み合わせがそろうかと、コールドヘッドやアドソーバーの保守の履歴が要点になる。