DC電源・RF電源(スパッタ・プラズマ用)は、真空チャンバーの中でプラズマを起こし、保つための電力を供給する電源と、その周りの整合・制御機器の分野である。スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、アッシング、イオンビームを使う加工や成膜は、どれもこの電源がなければ成り立たない。一般の実験用直流電源と違い、放電という変わりやすい負荷に電力を安定して入れ続けることが求められる。
中心になるのはDC電源とRF電源である。DC電源はマグネトロンスパッタで金属など導電性のターゲットに負の電圧をかける用途が代表で、反応性スパッタではターゲット表面に絶縁物が付いて起こるアーク放電を抑えるため、アークキラー(スパークル)のような機器やパルス化の機能を組み合わせる。RF電源は高周波でプラズマを起こすため、絶縁物のターゲットや電極に膜が付く用途でも放電を続けられ、プラズマCVDやエッチングで広く使われる。周波数は工業用に割り当てられた13.56MHzが標準的である。
RF電源には整合器が欠かせない。プラズマの負荷はインピーダンスが電源側の出力インピーダンスと大きく違い、そのままでは電力が反射して入らないため、マッチングボックスで負荷を合わせ、反射波を小さくして電力を送り込む。整合を自動で追いかける場合は、チューニングコントローラーやマッチングコントローラーが整合器の可変コンデンサーを動かす。RFコントローラーやスパッタ電源用のミニパネルは、電源の出力設定や表示を手元や装置の盤面から行うための機器である。
このほか、電子ビームで材料を加熱して蒸発させるEB蒸着電源、イオン源を動かすイオン電源、2.45GHz帯のマイクロ波でプラズマを起こすマイクロ波電源、定電圧と定電流を切り替えて使えるCVCC可変電源などもこの分野に入る。いずれも、どの放電方式の装置に組み込むかで必要な電源が決まる。
選び分けは、まずプロセスの方式から入る。金属の成膜ならDC電源、絶縁物の成膜やプラズマ処理ならRF電源と整合器、高密度のプラズマや特定の励起が要るならマイクロ波電源、蒸着ならEB蒸着電源という見当になる。そのうえで出力の大きさ、周波数、整合器との組合せ、装置側からの制御の方式、冷却方式と入力電源を、組み込む装置や設置する場所に合わせて絞り込む。中古では、電源と整合器、コントローラーが別々に流通することが多いので、組合せがそろうかを先に確かめると手戻りが少ない。

中古DC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）を選ぶときの確認点

出力の大きさと周波数: 定格出力と、RF電源なら発振周波数、DC電源なら出力電圧と電流の範囲が、使うカソードや電極の大きさとプロセスに合うかを確かめてください。出力が大きすぎる電源は、低い出力での安定性が劣ることがあります。
整合器との組合せ: RF電源は、対応する出力と周波数の整合器と組み合わせて使います。整合器を自動で動かすコントローラーやつなぐケーブルが、電源と同じ系列でそろうかを確かめてください。
冷却方式と入力電源: 出力の大きい電源は水冷のことが多く、冷却水の流量や継手の形、三相の入力電源が必要になります。設置する場所の設備で、入力電圧と相数、冷却水の要否を満たせるかを確かめてください。
外部制御の方式: 装置から出力のオン・オフや設定を行うには、アナログ信号、接点、RS-232Cなどの通信のどれに対応しているかが重要です。インターロックの配線の形もあわせて確かめてください。
高周波ケーブルとコネクタ: 電源と整合器、整合器と電極をつなぐ同軸ケーブルとコネクタの形が装置と合うかを確かめてください。高周波のケーブルは長さや種類で整合の具合が変わるため、付属の有無も大切です。
アーク対策と前の使用: 反応性スパッタなどに使われていたDC電源は、アークへの対応機能の有無と、前の使用条件を確かめてください。アークキラーを外付けする前提の電源もあります。

AIでまとめた一般的な確認点です。個々の商品の付属品・状態は各商品ページでご確認ください。

DC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）のよくある質問

QDC電源とRF電源はどう使い分けますか？

金属など導電性のターゲットをスパッタするならDC電源が一般的で、成膜の速さや装置の簡単さで有利です。酸化物などの絶縁物のターゲットや、電極に絶縁性の膜が付くプラズマ処理では、電荷がたまって放電が止まるのを避けるためにRF電源を使います。

QRF電源の周波数はなぜ13.56MHzが多いのですか？

13.56MHzは、通信を妨げないように工業・科学・医療用として国際的に割り当てられた周波数帯の一つだからです。この周波数であれば強い高周波を出しても無線の規制上扱いやすく、整合器や部品も広く流通しているため、プラズマ装置の標準になっています。

Q反射波が大きいとどうなりますか？

電源の出力がプラズマに入らずに戻ってくるため、設定した電力が負荷にかからず、成膜やエッチングの速さが変わります。反射が続くと電源が保護のために出力を絞ったり止まったりすることもあります。整合器の調整や、ケーブル・電極の接続の見直しで反射を小さくします。

Qマッチングボックスは別のメーカーのRF電源と組み合わせられますか？

多くのRF電源と整合器は50Ωで受け渡しをするため、周波数と出力の定格が合えば、メーカーが違っても電力の受け渡しはできます。ただし整合器を自動で動かす制御信号や表示の取り込みは系列ごとに違うので、自動整合を使う場合は対応を確かめます。

Q使わなくなったDC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）を売ることはできますか？

はい。DC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）の買取も行っています。査定は無料です。メーカー・型式・年式・動作の状態が分かれば、より正確に査定できます。

支払い・納期・返品について(よくある質問の一覧)

DC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）の買取も行っています

不要になったDC電源・RF電源（スパッタ・プラズマ用）がありましたら、無料で査定します。設備更新・研究終了・移転などで手放す予定の機器は、廃棄・処分する前に一度ご相談ください。1台から、研究室・工場の一括売却まで全国に対応します。

無料査定を依頼する　真空コンポーネントの買取について　買取対象カテゴリ一覧