中古 Eni RF電源 OEM-12A

スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDなどの装置に組み込み、プラズマを立てるための高周波電力を供給するRF電源。OEM組込み型で、装置メーカーが自社の装置の中に内蔵する形で使われてきた。出力した高周波は整合器(マッチングボックス)を通して電極へ送る。
周波数は13.56MHzで、掲載の仕様欄の値と一致する。出力は1250W。入力電源は208VACで、冷却は水冷とされる。
出力・入力・冷却の値は中古機の販売サイトの記載による二次情報で、メーカーの公式データシートでは確かめられていない。入力電圧が208VACのため、国内で使うときは受電側の電圧との組合せを確かめる必要がある。水冷のため冷却水の配管も要る。組み合わせる整合器と、制御の信号の取り合いも、元の装置の資料で確かめておきたい。