中古 Eni RF電源 ACG-5

Name: Eni RF電源 ACG-5
Brand: Eni
SKU: Z17052917
Price: 120000 JPY
Availability: InStock

本体価格(税別、送料別)120,000円

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メーカー: Eni
型式: ACG-5
機種: RF電源
管理番号: Z17052917
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

ACG-5 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

種別	空冷 RFプラズマ電源(ACGシリーズ)
周波数	13.56(安定度±0.005%、シリーズ共通) MHz
出力	500級(型番、前面メータは0〜600W) W
負荷保護	反射電力・PA電流に応じた自動進行波リミット(シリーズ共通)
冷却	強制空冷、+10〜+40℃(シリーズ共通)
インターフェース	RF ON入力(TTL/接点)、RF ON・最大電力出力(TTL)、RF出力 N型(シリーズ共通)

※ACG-5 固有のデータシートは無く、共通仕様は現行 ACG-3B/6B/10B データシートから。入力電源・寸法・質量は未確認。

出典: 現品の銘板、ptb-sales.com

Eni ACG-5 の装置概要　AIによる記述です

スパッタリングやエッチング、プラズマCVDなどの装置で、プラズマを立てるための高周波電力を供給する空冷のRF電源(ACGシリーズ)。出力した高周波は整合器を通して電極へ送る。
周波数は13.56MHzで、安定度は±0.005%(シリーズ共通)。出力は型番から500W級で、前面のメータは0〜600Wの目盛。負荷から戻る反射電力や出力段(PA)の電流に応じて、進行波の電力を自動で制限して電源を守る。冷却は強制空冷で、使える周囲温度は+10〜+40℃。インターフェースは、RF ONの入力(TTLまたは接点)と、RF ON・最大電力の出力(TTL)を持ち、RF出力はN型のコネクタ。
ACG-5に固有のデータシートは無く、シリーズ共通の値は現行のACG-3B/6B/10Bのデータシートによる。入力電源・寸法・質量は確かめられていない。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。