中古 Eni RF電源 OEM-10B

本機は、半導体製造プロセスや各種真空プラズマプロセスにおいて、高周波電力を供給するために設計されたソリッドステート式のRF電源です。発振周波数はISM帯の標準である13.56MHzに固定されており、最大1000W（1kW）の定格出力を提供します。出力インピーダンスは50Ωに設計されており、外部のインピーダンスマッチングネットワーク（整合器）と直列に接続することで、変動するプラズマ負荷に対しても効率的な電力伝送と反射波の抑制を行います。

増幅段には半導体素子を用いたソリッドステート構成を採用しており、真空管方式の電源と比較して高い電力変換効率と長寿命化が図られています。冷却機構には水冷方式を採用しているため、高出力での長時間の連続稼働時においても装置内部の熱暴走を防ぎ、安定した動作環境を維持します。

背面には外部制御用のインターフェースを備えており、上位の装置コントローラーからの信号を介して、出力電力の連続的な可変制御やステータス監視が可能です。主に進行波電力（フォワード）と反射波電力（リフレクト）のモニタリング機能や、水冷ラインの異常・過熱などを検知する保護回路（インターロック機能）を搭載しています。プラズマCVD装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置などにおけるプラズマ励起用の基幹ユニットとして運用される機器です。