中古 真空デバイス マグネトロンスパッタ MSP-1S

真空にした試料室の中でターゲットの金属をスパッタし、試料の表面に薄い金属の膜を付ける卓上型のマグネトロンスパッタ装置。走査電子顕微鏡(SEM)で観察する試料に導電性の膜を付けて、帯電を防ぐ前処理などに使われる。永久磁石を内蔵したマグネトロン型の電極で低い電圧の放電を使うクールスパッタの方式で、試料の温度上昇を抑えながら自動でコーティングする。
ロータリーポンプ(20L/min)を内蔵し、到達真空度はロータリーポンプ単体で2Pa、コーティング室で4Pa。試料室は硬質ガラスで内径120×深さ55mm。ターゲット電極は外径55mm・ターゲット面積20cm²で、ターゲット金属は標準がAu-Pd、オプションでAu・Pt-Pd・Ptを使える。試料台は直径50mmのフローティング方式で、ターゲットとの間隔は標準25mm(最大35mm)。電源はAC100V 単相 10A、寸法は200(W)×340(D)×350(H)mm、質量は14kg。
値は社内保管の取扱説明書の製品仕様による。