中古電子顕微鏡（SEM・TEM）の在庫・価格

電子顕微鏡(SEM・TEM)は、光の代わりに電子線を試料に当てて像を作る顕微鏡と、その観察を支える試料作製の装置の分野である。電子線は光より波長がずっと短いため、光学顕微鏡では見えないナノメートルの尺度の形態まで観察できる。材料・金属・半導体・電子部品・生物など幅広い研究と、製造現場の不良解析や品質管理に使われる。
走査電子顕微鏡(SEM)は、細く絞った電子線で試料表面を走査し、出てくる二次電子や反射電子を検出して、表面の形や組成の違いを画像にする。焦点深度が深く、凹凸のある試料も立体感のある像で見られる。電子銃の方式で系統が分かれ、タングステンのフィラメントを加熱する熱電子放出型は扱いやすく、保守の負担が小さい。電界放出型(FE-SEM)は鋭い陰極から強い電界で電子を引き出し、電子線を細く明るく絞れるため、低い加速電圧でも高い分解能が得られ、微細なパターンや薄膜の観察に使われる。低真空で観察できる機種は、絶縁物や水分を含む試料をコーティングなしで見られ、卓上型の小形のSEMは設置の条件が軽い。
透過電子顕微鏡(TEM)は、ごく薄く加工した試料に高い加速電圧の電子線を通し、透過した電子で内部の結晶構造や格子の像を観察する。原子の配列に迫る分解能が得られる一方、電子が透過できる厚さまで試料を薄くする前処理が必要で、装置も大型になる。電子線を走査する機能を加えて走査透過電子顕微鏡(STEM)として使える機種もあり、分析装置と組み合わせてごく狭い領域の組成を調べられる。
観察を支える装置として、集束イオンビーム加工装置(FIB)と断面観察装置がある。FIBはガリウムなどのイオンを細く絞って試料を削り、狙った場所の断面を出したり、TEM用の薄片を切り出したりする。電子線の鏡筒を併せ持つ機種では、加工と観察を同じ装置の中で行える。断面観察装置は、アルゴンのイオンビームで試料の断面や表面を平滑に削るイオンミリングなどの装置で、機械研磨で生じるだれや傷のない断面を作り、SEMで観察する前の処理に使われる。
SEMには、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)や結晶方位を調べる付属装置を組み合わせることが多く、形と元素の情報を同じ視野で得られる。選び分けは、見たい物の大きさと試料の性質で決まる。表面の形態や元素の分布を幅広く見るならSEM、より細かい表面の構造や低い加速電圧での観察ならFE-SEM、内部の結晶構造ならTEMとなり、狙った位置の断面や薄片を作るにはFIBや断面観察装置を組み合わせる。観察の目的に合わせて、本体と試料作製の装置、分析装置を一つの系として揃えることが、この分野の機器を使いこなす要点になる。