中古真空機器の機器名リスト
スパッタ装置7件
EB蒸着機2件
ドライエッチング（RIE）3件
CVD装置3件
アッシャー1件
真空チャンバー1件
イオンミリング2件
イオンコーター1件
ICPエッチング1件
蒸着機1件
バレル型アッシャー2件
ECRエッチング1件
イオンスライサー1件
真空機器の在庫表
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 管理番号 | シリアル | 年式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| バレル型アッシャー | 森エンジニアリング | PB-1000 | Z20091838 | |||
| EB蒸着機 | アルバック Ulvac | EBX-8C | Z20080402 | クライオポンプ | ||
| CVD装置 | アネルバ ANELVA | 薄膜材料プロセッシングシステム | Z20041404 | EVP-38626 | 2003 | |
| スパッタ装置 | アネルバ ANELVA | SPF-210H | Z20041402 | 1995 | 拡散ポンプ、冷却水詰まり | |
| スパッタ装置 | スパッタ装置 | Z20041401 | ||||
| CVD装置 | アネルバ ANELVA | PED-301 | Z20022617 | 1989 | ||
| 真空チャンバー | アネルバ ANELVA | Z20022615 | レーザーデポジション装置の一部 | |||
| ECRエッチング | アネルバ ANELVA | ECR-300E | Z20022612 | 1985 | ||
| ドライエッチング（RIE） | アネルバ ANELVA | DEM-451M | Z20022611 | 1985 | ||
| イオンミリング | Gatan | 600 TMP | Z20022607 | |||
| イオンミリング | Gatan | 600 C TMP | Z20022602 | 2003 | ||
| ドライエッチング（RIE） | 入江工研 IKC | PE-300VM | Z19091211 | 1999 | ||
| ドライエッチング（RIE） | サムコ Samco | RIE-200NL | Z190825021 | |||
| イオンスライサー | 日本電子 Jeol | EM-09100 IS | Z19072707 | |||
| スパッタ装置 | アネルバ ANELVA | E-402S | Z19011901 | 2008 | ||
| ICPエッチング | ヒューズテクノネット Fuse Technonet | LETH-300 | Z18121901 | |||
| 蒸着機 | アユミ工業 AYUMI INDUSTRY | Z18100209 | ||||
| バレル型アッシャー | アルバック Ulvac | OPM-600AHC | Z18072803 | |||
| スパッタ装置 | アネルバ ANELVA | SPF-332H | Z18072601 | |||
| CVD装置 | マイクロフェーズ MICROPHASE | MPCNT-Professinaol | Z18063004 | 2015 | ||
| イオンコーター | 日立 Hitachi | E-1010 | S20041703 | |||
| EB蒸着機 | アルバック Ulvac | EBX-1000 | G122705 | MA00-0002 | 2000 | EB蒸着装置 |
| スパッタ装置 | アネルバ ANELVA | SPF-430H | G022004 | |||
| スパッタ装置 | アネルバ ANELVA | SPF-430H | G022001 | |||
| スパッタ装置 | 昭和真空 SHOWA SHINKU | SPH-2207-RF | E122401 | |||
| アッシャー | 神港精機 | E111402 |