中古機 角型ゲートバルブ Vat製、型式02110-AA24-AQW1/0072のご紹介

【AIによる装置概要】
半導体や液晶の製造装置で、搬送室とプロセス室のあいだの基板の出し入れ口を開け閉めする、矩形(角型)のゲートバルブ(トランスファーバルブ)。VATのMONOVATシリーズ02/03にあたる。
駆動は複動式の空圧アクチュエータで位置表示が付き、型番の24は制御電圧24Vを示す。推奨する作動空気圧は2〜6bar(30〜90psi)。使える圧力は1×10⁻⁹ mbar〜1.2bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)。ゲートの差圧は両方向に1.2bar、開放時は30mbar以下。メンテナンスまでの動作回数は500万回以上。本体とゲートはアルミ(EN AW-6082)かステンレス(AISI 316L)、ベローズはAISI 633、シールはFKM(ゲートは加硫)。位置表示の接点は50V AC/DC・0.1A以下。
共通の仕様はVATのデータシートによる。021系はデータシートの発注表(022/032系)に無い派生型で、開口の寸法は確かめられていない。
【AIによる参考仕様】
・種別：矩形(角型)ゲートバルブ MONOVAT シリーズ02/03(基板搬送用トランスファーバルブ)
・型番：02110-AA24-AQW1/0072
・駆動方式：複動式 空圧アクチュエータ、位置表示付(型番の24は制御電圧24V)
・推奨作動空気圧：2〜6 bar(30〜90 psi)、エア接続 内ねじ⅛"
・圧力範囲：1×10⁻⁹ mbar〜1.2 bar(abs)(金属ブランク面・ニッケルめっき)、アルミ硬質アルマイトは1×10⁻⁶ mbarから
・ゲート差圧：1.2 bar(両方向)、開放時 ≤30 mbar
・メンテナンスまでの動作回数：500万回以上
・使用温度：≤80℃(アルミ+標準位置表示) / ≤150℃(ベーカブル) / ≤200℃(ステンレス・位置表示なし)
・材質：本体・ゲート アルミ EN AW-6082 またはステンレス AISI 316L、ベローズ AISI 633
・シール：FKM(バイトン、ゲートは加硫)
・位置表示の接点定格：≤50V AC/DC、≤0.1A(>5mA)、9ピン D-sub
※共通仕様はVATのMONOVAT シリーズ02/03データシート(発注表・技術データ)。掲載品の021系はデータシートの発注表(022/032系)に無い派生型で、開口寸法は同じサイズコードからの推定。