中古機 角型ゲートバルブ Vat製、型式02110-AA24-AQW1/0072のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスやフラットパネルディスプレイ（FPD）製造、各種真空装置におけるチャンバー間の基板搬送（トランスファー）用途などで使用される、空圧駆動式の高真空用角型ゲートバルブです。高真空環境下での確実な密閉性を実現するため、最適化されたゲートシール機構を備えており、摺動部の摩擦によるパーティクルの発生を極限まで抑える設計が採用されています。

動作機構には複動式の空圧シリンダーが利用されており、スムーズかつ高速な開閉動作を可能にしています。カム機構を用いた独自のロックシステムにより、閉鎖時のシール面への均一な面圧を確保し、シール材の摩耗を低減することで長寿命と高い信頼性を両立しています。ロードロックチャンバーやトランスファーチャンバーの隔離に不可欠なコンポーネントであり、1×10^-8 mbar帯の高真空から大気圧付近までの圧力環境下において、安定したアイソレーション（隔離）性能を発揮します。

末尾のカスタムコードから、本モデルは特定のプロセス要件に合わせて製造されたカスタマイズ品であることがわかります。標準的な構造をベースとしながらも、ポジションセンサーの仕様、Oリングの材質、表面処理のいずれかにおいて独自の最適化が施されています。

【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ: 角型ゲートバルブ（トランスファーバルブ）
・駆動方式: 複動空圧式（Pneumatic double acting）
・使用圧力範囲: 1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
・リークレート（バルブシート）: < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
・リークレート（ボディ）: < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
・駆動用供給空気圧: 4.0 ～ 7.0 bar (55 ～ 100 psi)
・開閉時許容差圧: ≤ 30 mbar（ゲート両面）
・許容動作温度（ボディ）: ≤ 120 ℃（標準的なFKMシールの場合）
・許容動作温度（アクチュエータ）: ≤ 80 ℃
・主なシール材質: FKM（フッ素ゴム）
・ボディ材質: アルミニウム合金
・ポジションインジケーター: あり（開/閉 検知用センサー）

※本機には固有のカスタムコードが付加されているため、開口部の詳細なミリメートル寸法やセンサーコネクタのピン配列、特殊なOリング材質（耐プラズマ仕様など）に関して、カタログ上の標準仕様から一部変更されている可能性があります。システムへの組み込みに際しては、実機の寸法および結線図のご確認を推奨します。