中古 角型ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式02212-BA24-0001/0036
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造、および各種真空コーティング装置などにおいて、プロセスチャンバーと搬送チャンバー間を仕切るために設計された空圧駆動式のトランスファーバルブです。
バルブ開閉時にシール面への摩擦やせん断力を発生させない独自の動作機構が採用されており、パーティクル（微粒子）の発生を極限まで低減する構造となっています。これにより、高度なクリーン環境が求められる超高真空プロセスにおいても、内部環境を汚染することなく安定した基板搬送経路を確保します。
ボディには軽量かつ剛性に優れたアルミニウム合金が使用されており、大型化する真空装置への機械的な重量負荷を軽減します。大気圧から超高真空（1.0 × 10^-8 mbar）までの幅広い圧力領域に対応し、ゲート両方向からの差圧に対しても高い密閉性能を維持します。耐久性にも優れており、一般的な使用環境下で100万回以上の開閉サイクル寿命を持つため、定期的なメンテナンス周期の延長と、装置稼働率の向上に寄与する実用的なコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
・駆動方式：空圧式
・使用圧力範囲：1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・許容差圧（ゲート閉時）：最大 1.2 bar（両方向）
・リークレート（バルブシート）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
・リークレート（バルブボディ）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
・動作圧力（圧縮空気）：0.5 ～ 0.7 MPa（5.0 ～ 7.0 bar）
・許容最高温度（バルブボディ）：120 ℃
・許容最高温度（アクチュエータ）：80 ℃
・主要ボディ材質：アルミニウム合金
・主要シール材質：FKM（フッ素ゴム）
・機械的サイクル寿命：約100万回（※使用条件・プロセスにより変動）
※上記は該当シリーズの標準的な技術データに基づく参考仕様です。末尾のカスタム仕様番号により、実際の開口寸法、センサーの有無、特殊な表面処理などの詳細が標準仕様と一部異なる場合があります。
本装置は、半導体製造、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造、および各種真空コーティング装置などにおいて、プロセスチャンバーと搬送チャンバー間を仕切るために設計された空圧駆動式のトランスファーバルブです。
バルブ開閉時にシール面への摩擦やせん断力を発生させない独自の動作機構が採用されており、パーティクル（微粒子）の発生を極限まで低減する構造となっています。これにより、高度なクリーン環境が求められる超高真空プロセスにおいても、内部環境を汚染することなく安定した基板搬送経路を確保します。
ボディには軽量かつ剛性に優れたアルミニウム合金が使用されており、大型化する真空装置への機械的な重量負荷を軽減します。大気圧から超高真空（1.0 × 10^-8 mbar）までの幅広い圧力領域に対応し、ゲート両方向からの差圧に対しても高い密閉性能を維持します。耐久性にも優れており、一般的な使用環境下で100万回以上の開閉サイクル寿命を持つため、定期的なメンテナンス周期の延長と、装置稼働率の向上に寄与する実用的なコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
・駆動方式：空圧式
・使用圧力範囲：1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・許容差圧（ゲート閉時）：最大 1.2 bar（両方向）
・リークレート（バルブシート）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
・リークレート（バルブボディ）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
・動作圧力（圧縮空気）：0.5 ～ 0.7 MPa（5.0 ～ 7.0 bar）
・許容最高温度（バルブボディ）：120 ℃
・許容最高温度（アクチュエータ）：80 ℃
・主要ボディ材質：アルミニウム合金
・主要シール材質：FKM（フッ素ゴム）
・機械的サイクル寿命：約100万回（※使用条件・プロセスにより変動）
※上記は該当シリーズの標準的な技術データに基づく参考仕様です。末尾のカスタム仕様番号により、実際の開口寸法、センサーの有無、特殊な表面処理などの詳細が標準仕様と一部異なる場合があります。