中古機 角型ゲートバルブ Vat製、型式02110-AA24-AQW1／0057のご紹介

【AIによる装置概要】
本製品は、半導体製造装置やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、各種真空成膜装置において、真空チャンバー間の基板搬送経路を隔離・接続するために用いられる空圧駆動式の角型ゲートバルブ（トランスファーバルブ）です。主にロードロック室やトランスファーチャンバー、プロセスチャンバー間のウエハやガラス基板の出し入れ口（スリット）に設置され、真空状態を高度に維持したまま気密な開閉を行います。

真空環境下での厳密なプロセス制御を前提とした設計となっており、1×10^-9 mbarの超高真空領域から大気圧レベル（1.2 bar絶対圧）までの幅広い圧力範囲に対応しています。バルブシートおよびボディ全体のリークレートは1×10^-9 mbar L/s未満に抑えられており、チャンバー間の確実なガス分離や微細なパーティクルの侵入を防止します。

駆動方式は圧縮空気を利用した複動式の空圧アクチュエータを採用しており、通常5〜7 barの操作エアー圧によって高速かつ衝撃の少ないスムーズな開閉動作を実現します。内部機構には摩擦を最小限に抑える独自の動作軌道が採用されており、長期間の連続稼働においてもシール材の摩耗や発塵を極小化する構造です。なお、末尾の固有コードは、シール材質、表面処理、ポジションセンサの有無など、特定の装置設計に合わせたカスタマイズ仕様が適用されていることを示しています。

【AIによる参考仕様】
・動作方式：空圧式（複動式アクチュエータ）
・適用圧力範囲：1×10^-9 mbar ～ 1.2 bar（絶対圧）
・リークレート（バルブシート）：< 1×10^-9 mbar L/s
・リークレート（ボディ）：< 1×10^-9 mbar L/s
・必要駆動空気圧：5 ～ 7 bar （0.5 ～ 0.7 MPa）
・バルブ閉鎖時の耐差圧：最大 1 bar（両方向）
・想定稼働寿命（サイクル数）：100万回 ～ 300万回（※使用環境およびシール材質による）
・主要材質：アルミニウム合金（ボディ）、FKM等（シール材）
・用途：高真空チャンバー間におけるウエハ・基板搬送口の開閉隔離
・特記事項：特定の装置向けカスタマイズ仕様（開口部サイズ、オートスイッチの有無、専用表面処理等の個別オプションを含む）

※上記は同シリーズにおける標準的な公式技術データに基づく参考数値です。カスタマイズコードが含まれる製品のため、正確な開口寸法（スリットサイズ）や付帯するセンサの型式などの個別仕様については、実機の状態および銘板情報をご確認ください。