中古機 角型ゲートバルブ Vat製、型式02010-AA24-AKA1/0030のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体、FPD（フラットパネルディスプレイ）、太陽電池などの製造プロセスにおいて、真空チャンバー間の基板移載（ロードロックやトランスファーチャンバー）経路を開閉するために用いられる高真空対応の角型トランスファーバルブです。

本体ボディおよびゲート部にはアルミニウム合金が採用されており、軽量化と堅牢性を両立しています。駆動方式は圧縮空気を利用した空圧シリンダー（複作動式）による自動開閉機構を備えており、パーティクルの発生を最小限に抑えつつスムーズで高速な動作を実現します。

真空シールには耐久性に優れたエラストマー（FKM等）を採用し、高真空領域（1×10^-8 mbar帯）から大気圧付近までの幅広い圧力環境下で確実な気密性を保持します。ボディおよびシート面の許容リークレートは1×10^-9 mbar・L/s以下に設計されており、高度なクリーン環境が要求されるプロセスにも対応可能です。

また、自動化ラインへの組み込みを前提として、バルブのオープン・クローズ位置を正確に検知するためのポジションセンサー（オートスイッチ）インターフェースを備えており、装置の安全なインターロック制御に寄与します。

【AIによる参考仕様】
・バルブ種類: 角型ゲートバルブ（トランスファーバルブ）
・駆動方式: 空圧駆動（複作動シリンダー）
・主要材質（ボディ/ゲート）: アルミニウム合金
・シール方式/材質: Oリングシール / エラストマー（FKM等）
・使用圧力範囲: 1×10^-8 mbar ～ 1.2 bar (abs) （1×10^-6 Pa ～ 0.12 MPa）
・許容リークレート（ボディ）: < 1.0×10^-9 mbar・L/s
・許容リークレート（バルブシート）: < 1.0×10^-9 mbar・L/s
・バルブ開閉時の最大許容差圧: 1.0 bar (0.1 MPa) 以下
・駆動用圧縮空気圧力: 0.5 ～ 0.7 MPa (5.0 ～ 7.0 bar)
・許容ベーキング温度（ボディ部）: 最高 100 ℃ （※シール材およびプロセス条件により変動）
・許容ベーキング温度（アクチュエータ部）: 最高 50 ℃
・位置検出機構: 開閉端検知用センサー（リミットスイッチ / 磁気近接スイッチ）対応
・マウント方式: 装置組み込み用Oリング溝付きフランジ（インサート型対応）

※本仕様は同シリーズの標準的なカタログデータを基に作成した参考値です。枝番やカスタム仕様により、開口寸法、ポート形状、および耐熱温度などが異なる場合があります。実機の銘板および現物形状をあわせてご確認ください。