中古 角型ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式02110-AA24-AQW1/0057
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスやフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置などの高真空環境下において、ロードロック室とプロセスチャンバー間における基板搬送経路の隔離・開閉を目的として設計された角型トランスファーバルブです。
駆動機構には空圧式シリンダを採用しており、動作圧力5〜7 barの圧縮空気を供給することでゲートの開閉制御を行います。内部の独自メカニズムにより、開閉動作時に発生する機械的摩擦や衝撃を極めて低く抑え、真空チャンバー内におけるパーティクルの発生を最小限にとどめる構造となっています。これにより、高度なコンタミネーションコントロールが要求される微細加工プロセスに適したクリーンな環境を維持します。
対応する圧力範囲は1 × 10^-9 mbarの超高真空域から1.2 barまでと幅広く、バルブボディおよびバルブシートにおけるヘリウムリークレートは1 × 10^-9 mbar L/s未満の高い気密性を確保しています。また、頻繁な基板搬送を伴う過酷な使用環境を想定した長寿命設計が施されており、高サイクルな開閉動作においても安定したシール性能を維持し、装置のメンテナンス頻度を抑える機能的な特徴を備えています。
【AIによる参考仕様】
- 駆動方式: 空圧式
- 圧力範囲 (真空側): 1 × 10^-9 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
- リークレート (バルブボディ): < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
- リークレート (バルブシート): < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
- 動作圧縮空気圧: 5 ～ 7 bar (0.5 ～ 0.7 MPa)
- 許容差圧 (開弁動作時): ≤ 30 mbar
- 許容差圧 (閉弁時): ≤ 1.2 bar (両方向)
- 許容最大温度 (バルブボディ): ≤ 150 ℃ (使用されているシール材の仕様に依存)
- 許容最大温度 (アクチュエータ部): ≤ 80 ℃
- 取付姿勢: 任意方向での設置が可能
- 動作寿命: 100万〜数百万サイクル (使用環境および仕様条件による)
本装置は、半導体製造プロセスやフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置などの高真空環境下において、ロードロック室とプロセスチャンバー間における基板搬送経路の隔離・開閉を目的として設計された角型トランスファーバルブです。
駆動機構には空圧式シリンダを採用しており、動作圧力5〜7 barの圧縮空気を供給することでゲートの開閉制御を行います。内部の独自メカニズムにより、開閉動作時に発生する機械的摩擦や衝撃を極めて低く抑え、真空チャンバー内におけるパーティクルの発生を最小限にとどめる構造となっています。これにより、高度なコンタミネーションコントロールが要求される微細加工プロセスに適したクリーンな環境を維持します。
対応する圧力範囲は1 × 10^-9 mbarの超高真空域から1.2 barまでと幅広く、バルブボディおよびバルブシートにおけるヘリウムリークレートは1 × 10^-9 mbar L/s未満の高い気密性を確保しています。また、頻繁な基板搬送を伴う過酷な使用環境を想定した長寿命設計が施されており、高サイクルな開閉動作においても安定したシール性能を維持し、装置のメンテナンス頻度を抑える機能的な特徴を備えています。
【AIによる参考仕様】
- 駆動方式: 空圧式
- 圧力範囲 (真空側): 1 × 10^-9 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
- リークレート (バルブボディ): < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
- リークレート (バルブシート): < 1.0 × 10^-9 mbar L/s
- 動作圧縮空気圧: 5 ～ 7 bar (0.5 ～ 0.7 MPa)
- 許容差圧 (開弁動作時): ≤ 30 mbar
- 許容差圧 (閉弁時): ≤ 1.2 bar (両方向)
- 許容最大温度 (バルブボディ): ≤ 150 ℃ (使用されているシール材の仕様に依存)
- 許容最大温度 (アクチュエータ部): ≤ 80 ℃
- 取付姿勢: 任意方向での設置が可能
- 動作寿命: 100万〜数百万サイクル (使用環境および仕様条件による)