中古機 角型ゲートバルブ Vat製、型式02212-BA24-0002/0012のご紹介

【AIによる装置概要】
高真空環境下におけるウェーハやガラス基板などの搬送経路を仕切るための角型ゲートバルブ（トランスファーバルブ）です。主に半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置において、ロードロック室とプロセスチャンバー、あるいはトランスファーチャンバー間の真空隔離を行うために使用されます。空気圧（ニューマチック）駆動による高速かつスムーズな開閉動作を実現しており、動作時の振動やパーティクルの発生を極めて低く抑える機構が採用されています。

軽量かつ剛性の高いアルミニウムをボディ材質に採用しており、装置への組み込みスペースを最小限に抑えるコンパクトな設計です。超高真空領域から大気圧（1×10^-9 mbar ～ 1.2 bar）までの幅広い圧力環境下で確実な密閉性能を発揮し、ボディおよびバルブシートのリークレートは < 1×10^-9 mbar l/s と高水準を誇ります。また、長寿命設計がなされており、高頻度の開閉サイクルにおいても高い信頼性を維持するため、真空装置のメンテナンスインターバルの延長およびダウンタイム削減に貢献します。

【AIによる参考仕様】
・駆動方式: 複動式空気圧（ニューマチック）
・使用圧力範囲: 1×10^-9 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
・リークレート (ボディ・バルブシート): < 1×10^-9 mbar l/s
・作動空気圧 (圧縮空気): 4.0 ～ 7.0 bar (55 ～ 100 psi)
・差圧 (ゲート開閉時): ≤ 30 mbar
・差圧 (ゲート閉鎖時): 1.2 bar (いずれの方向からも可能)
・ボディ材質: アルミニウム合金
・シール材質: FKM（フッ素ゴムOリング）等のエラストマーシール
・耐熱温度 (ボディ): ≤ 120℃ ～ 150℃
・耐熱温度 (アクチュエータ): ≤ 80℃
・設置姿勢: 任意（任意の方向で取り付け可能）

※上記は同メーカーの同系シリーズ（角型トランスファーバルブ）の標準的な仕様に基づく参考データです。末尾の枝番（-0002/0012等）により、開口部寸法、Oリングの特殊材質、ポジションインジケータ（開閉センサ）およびソレノイドバルブの有無などが異なる場合があります。実際のシステム組み込み時には現品の寸法およびポート構成をご確認ください。