中古機 Convectron Gauge Granville-Phillips製、型式No275のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の熱伝導と対流の原理を組み合わせて応用し、大気圧から高真空領域までの広範囲な圧力測定を可能にした対流型ピラニ真空計のセンサーチューブです。従来のピラニ真空計や熱電対真空計が1 Torr（約133 Pa）以上の圧力帯で感度が低下するのに対し、本装置は気体の対流による冷却効果を測定に利用することで、1×10^-4 Torrから1000 Torr（大気圧）までの連続的かつシームレスな測定を実現しています。

センサー内部のフィラメントには、標準仕様として金メッキされたタングステンワイヤーが採用されており、長期間にわたって安定した応答性と高い測定再現性を維持します。可動部品を持たない堅牢な構造であるため、機械的な振動や衝撃に対する耐久性にも優れています。

なお、1 Torr以上の圧力領域においては気体の対流効果が測定値に大きく影響するため、正確な測定を行うにはセンサーの長軸（中心軸）を水平にして設置する必要があります。半導体製造装置のロードロック室や、真空排気システムの粗引きラインのモニタリングなど、多様な真空プロセスの圧力制御において基準として広く採用されている測定器です。

【AIによる参考仕様】
・測定範囲: 1×10^-4 Torr ～ 1000 Torr (1.3×10^-2 Pa ～ 1.3×10^5 Pa)
・測定原理: 気体の熱伝導および対流による熱損失測定
・フィラメント材質: 金メッキタングステン (標準。用途によりプラチナ仕様等あり)
・接ガス部材質: 304ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス、コバール、アルミナ、ニッケル、金、タングステン等
・動作環境温度: 0℃ ～ 50℃
・最大ベイクアウト温度: 150℃ (接続ケーブル取り外し時)
・内部容積: 約 40 cm³ (接続フランジの形状により若干の変動あり)
・設置姿勢: 中心軸を水平にして設置 (1 Torr以上の対流測定精度を確保するために必須)
・代表的な接続規格: 1/8 NPT、NW16 KF、NW25 KF、1.33インチ コンフラット(CF)、VCO等
※上記は標準的なチューブ本体の仕様です。実際の接続フランジ形状やオプション等により一部仕様が異なる場合があります。