中古 Convectron Gauge
メーカー名
Granville-Phillips
型式No275
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
20,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、大気圧から高真空領域まで幅広い圧力測定が可能な対流型真空計（コンベクトロンゲージ）のセンサーチューブです。一般的な熱伝導型ピラニゲージが測定を苦手とする10 Torrから大気圧付近の高圧力帯において、気体の熱対流による冷却効果を測定原理に組み込むことで、測定精度と安定性を大幅に向上させています。この独自の構造により、1.0 × 10^-4 Torrから1000 Torr（約1.3 × 10^-2 Pa 〜 1.3 × 10^5 Pa）という7桁にわたる広い測定範囲を単一のセンサーでカバーすることが可能です。
測定素子には主に金メッキタングステンを採用しており、微小な圧力変化に対しても0.1秒以下という高速な応答性を実現しています。真空チャンバーの粗引きプロセスのモニタリング、大気開放時の圧力確認、各種システムインターロックの制御など、半導体製造装置や研究開発用の真空システムにおいて標準的な圧力測定器として広く用いられています。堅牢な構造設計でありながら可動部品を持たないため、長期間にわたり信頼性の高い測定データを提供します。
【AIによる参考仕様】
・測定原理：対流型熱伝導（コンベクトロン方式）
・測定圧力範囲：1.0 × 10^-4 〜 1000 Torr（1.3 × 10^-2 〜 1.3 × 10^5 Pa）
・分解能：測定範囲の全域において連続的なアナログまたはデジタル信号（接続するコントローラーに依存）
・応答速度：0.1秒未満（圧力変化に対して）
・推奨動作温度範囲：0 〜 50 ℃
・許容ベークアウト温度：最大 150 ℃（測定ケーブル非接続時）
・センサーワイヤー材質：金メッキタングステン（オプションでプラチナ仕様あり）
・主な接ガス部材質：304ステンレススチール、ガラス、ニッケル
・内部容積：約 40 cm³（接続フィッティングの種類により若干変動）
・取付方向：軸を水平方向にしての設置を推奨（高圧力帯における正確な対流効果測定のため）
・代表的な真空フィッティング（仕様により異なる）：1/8 NPT、1/2インチ直管、NW16 KF、NW25 KF、2.75インチ ConFlat (CF) 等
本装置は、大気圧から高真空領域まで幅広い圧力測定が可能な対流型真空計（コンベクトロンゲージ）のセンサーチューブです。一般的な熱伝導型ピラニゲージが測定を苦手とする10 Torrから大気圧付近の高圧力帯において、気体の熱対流による冷却効果を測定原理に組み込むことで、測定精度と安定性を大幅に向上させています。この独自の構造により、1.0 × 10^-4 Torrから1000 Torr（約1.3 × 10^-2 Pa 〜 1.3 × 10^5 Pa）という7桁にわたる広い測定範囲を単一のセンサーでカバーすることが可能です。
測定素子には主に金メッキタングステンを採用しており、微小な圧力変化に対しても0.1秒以下という高速な応答性を実現しています。真空チャンバーの粗引きプロセスのモニタリング、大気開放時の圧力確認、各種システムインターロックの制御など、半導体製造装置や研究開発用の真空システムにおいて標準的な圧力測定器として広く用いられています。堅牢な構造設計でありながら可動部品を持たないため、長期間にわたり信頼性の高い測定データを提供します。
【AIによる参考仕様】
・測定原理：対流型熱伝導（コンベクトロン方式）
・測定圧力範囲：1.0 × 10^-4 〜 1000 Torr（1.3 × 10^-2 〜 1.3 × 10^5 Pa）
・分解能：測定範囲の全域において連続的なアナログまたはデジタル信号（接続するコントローラーに依存）
・応答速度：0.1秒未満（圧力変化に対して）
・推奨動作温度範囲：0 〜 50 ℃
・許容ベークアウト温度：最大 150 ℃（測定ケーブル非接続時）
・センサーワイヤー材質：金メッキタングステン（オプションでプラチナ仕様あり）
・主な接ガス部材質：304ステンレススチール、ガラス、ニッケル
・内部容積：約 40 cm³（接続フィッティングの種類により若干変動）
・取付方向：軸を水平方向にしての設置を推奨（高圧力帯における正確な対流効果測定のため）
・代表的な真空フィッティング（仕様により異なる）：1/8 NPT、1/2インチ直管、NW16 KF、NW25 KF、2.75インチ ConFlat (CF) 等