中古機 マルチゲージコントローラー Granville-Phillips製、型式360Bのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、複数の真空測定モジュールを統合して制御・表示を行うモジュール式の真空計コントローラーです。各種プラグインモジュールを組み込むことで、超高真空から大気圧（約1.0×10^-10 Torr ～ 1000 Torr）までの広範な圧力帯域を1台でモニタリングできる設計となっています。前面パネルには視認性の高いデジタルLEDディスプレイを備え、圧力値の指数表示および各測定チャンネルのステータス確認を容易に行うことが可能です。

また、本品には超小型ベアード・アルパート（B-A）型イオンゲージである「356（Micro-Ionゲージ）」が付属しています。このゲージは、従来のガラス管型イオンゲージに比べて占有容積が小さく、限られたスペースにもフランジ直付け等で設置しやすい構造でありながら、5.0×10^-10 Torrから5.0×10^-2 Torrまでの高真空領域を測定できる特性を持っています。コントローラーからの制御によってエミッション電流の最適化やデガス（脱ガス）操作を実行し、測定の信頼性と安定性を維持します。半導体製造装置、真空蒸着、スパッタリング装置、または各種分析機器における真空チャンバーの圧力管理や排気プロセスの監視といった用途に広く適用されます。

【AIによる参考仕様】
［コントローラー部］
・システム測定圧力範囲: 1.0×10^-10 Torr ～ 1000 Torr（※実装モジュールおよび接続ゲージ構成に依存）
・表示方式: デジタルLEDディスプレイ（有効数字2桁＋指数表示）
・対応真空ゲージ: ベアード・アルパート型イオンゲージ、コンベクトロンゲージ、熱電対ゲージなど
・イオンゲージ制御機能: エミッション電流切替、デガス機能制御
・外部出力: アナログ電圧出力（対数または線形出力）
・動作環境温度: 0℃ ～ 40℃
・拡張・オプション機能: プロセス制御リレー出力、RS-232C / RS-485通信インターフェース（※実装状況は個体により異なります）

［付属イオンゲージ部（356）］
・ゲージタイプ: 超小型ベアード・アルパート（B-A）型イオンゲージ
・測定圧力範囲: 5.0×10^-10 Torr ～ 5.0×10^-2 Torr
・X線限界: 約 3.0×10^-10 Torr
・フィラメント: デュアルフィラメント構造（イットリアコートイリジウム、またはタングステンを採用）
・デガス方式: 電子衝撃（Electron Bombardment）方式による脱ガスに対応
・構造的特徴: 従来の標準的なガラス管型B-Aゲージと比較して内部容積と設置スペースを大幅に削減