中古機 圧力コントローラー Mks製、型式TYPE113/Model627Bのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高精度な絶対圧測定を行うための温度制御型キャパシタンスマノメーター（静電容量型真空計）をベースとした圧力測定および制御用ユニットです。半導体製造装置や真空プロセスの圧力制御システムにおいて、自動圧力制御バルブ（APC）などと組み合わせるための信頼性の高い圧力フィードバックセンサーとして広く利用されています。

測定原理には、ダイアフラム（隔膜）が受ける圧力による静電容量の変化を検知する方式を採用しており、ガスの種類や組成に依存しない正確な絶対圧測定が可能です。最大の特徴として、センサー内部がヒーターにより45℃の一定温度に加熱・制御されています。これにより、周囲の環境温度の変動による影響やゼロ点ドリフトを最小限に抑え、極めて安定した測定を実現します。

本構成におけるフルスケール測定範囲は 133.32 Pa（1 Torr）であり、中真空から低真空領域における精密な圧力監視に最適です。また、接ガス部には耐腐食性に優れたインコネル（Inconel®）等の合金が使用されており、反応性ガスや腐食性ガスを扱うプロセスラインでも使用可能な耐久性を備えています。

【AIによる参考仕様】
・測定原理：静電容量型絶対圧測定（キャパシタンスマノメーター）
・フルスケールレンジ：133.32 Pa（1 Torr）
・センサー動作温度：45℃（ヒーター内蔵・恒温制御）
・測定精度：読み値の±0.12％（標準仕様における代表値）
・出力信号：0〜10 VDC（アナログ、圧力に対してリニア出力）
・ゼロ点温度係数：0.002％ F.S. / ℃
・スパン温度係数：0.02％ 読み値 / ℃
・ウォームアップ時間：約2時間（規定の温度・精度安定まで）
・許容過負荷圧力（Overpressure Limit）：45 psia（約310 kPa）
・接ガス部材質：インコネル®（Inconel®）およびステンレス鋼
・入力電源：±15 VDC（±5％）、約0.25 A（最大）
・インターフェース：15ピン D-sub コネクタなど
・想定用途：真空チャンバーの圧力監視、自動圧力コントローラーへのアナログ信号入力用センサー

※上記は当該モデル（1 Torrレンジ・45℃加熱型）の標準的な仕様に基づく参考値です。実際の接続真空フランジ（VCR、NW/KF等）の形状や詳細なピン配置等については、現品およびメーカーデータシートをあわせてご確認ください。