中古機 圧力コントローラー MKS製、型式640A-28779のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、静電容量型ダイヤフラム真空計（キャパシタンスマノメーター）とプロポーショナル制御バルブをコンパクトに一体化した、アブソリュート（絶対圧）圧力コントローラーです。主に半導体製造装置や各種真空プロセスのガス導入ライン等に設置され、単体でクローズドループによる高精度な自動圧力制御を実行します。

本機のフルスケールレンジは1000 Torr（約133.3 kPa）に設定されており、大気圧付近までの圧力領域をカバーします。内蔵されたセンサーは、ガスの種類や組成に依存せず、物理的なダイヤフラムの変位から絶対圧を直接測定します。そのため、反応性ガスや混合ガスを用いたプロセス環境下においても熱伝導式センサーのような補正が不要であり、正確な計測と制御が可能です。

制御メカニズムとして、外部からの設定圧力信号と内蔵センサーによる実際の測定圧力を内部の電子回路で高速に比較し、その差分に基づいてプロポーショナルバルブの開度を連続的に微調整します。これにより、フルスケールの2%から100%の制御範囲において、上流側の圧力変動やガス流量の変化に対して迅速に応答し、安定したプロセス圧力を維持します。

単一のパッケージに高精度センサーと制御バルブ、処理回路が組み込まれているため、個別機器を組み合わせる場合と比較して配線の簡素化や設置スペースの削減、システム配管におけるデッドボリュームの低減に寄与する構造となっています。

【AIによる参考仕様】
・測定・制御方式：絶対圧（アブソリュート）クローズドループ制御
・フルスケールレンジ：1000 Torr
・制御可能範囲：フルスケールの2% ～ 100%（20 Torr ～ 1000 Torr）
・測定精度：フルスケールの±0.5%
・内蔵センサー：静電容量型マノメーター
・内蔵バルブ：プロポーショナル制御バルブ
・設定/出力信号：アナログ電圧（一般的に 0-5 VDC または 0-10 VDC）
・動作温度範囲：15℃ ～ 40℃
・許容過圧（センサー部）：45 psia（約310 kPa）
・外部リークレート：1.0 × 10^-9 scc/sec 以下（He）

※本機に付与されているハイフン以降の固有番号は、特定の装置メーカー向け（OEM等）のカスタマイズ仕様を示す場合があります。そのため、ガス接続口の継手形状（VCR等）、バルブの初期状態（ノーマリークローズまたはオープン）、および必要電源仕様（±15VDCまたは単一24VDC）などの細部は、標準モデルと異なる可能性があります。実際のシステムへ組み込む際は、実機の銘板、継手形状、コネクタのピンアサイン等のご確認を推奨します。