中古 MKS 圧力コントローラー 640A-28779
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 640A-28779
- 機種
- 圧力コントローラー
- 仕様
- Range 1000Torr
- 管理番号
- Z20020754
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640A-28779 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 形式 | Type 640A（絶対圧コントローラ） |
|---|---|
| フルスケール | 1000 Torr |
| 確度 | 読み値の±0.5% |
| 制御範囲 | F.S.の2〜100% |
| 制御再現性 | ±0.1 %F.S. |
| 温度係数(ゼロ) | ±0.02 %F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | ±0.04 %読み値/℃ |
| 入出力信号 | 圧力出力・設定入力とも DC0〜5V または 0〜10V（選択式） |
| トリップポイント | オープンコレクタ2点、DC30V／250mA、ヒステリシス3%F.S. |
| 電源 | ±15VDC±5%、200mA以下 |
| 使用温度範囲 | 0〜50 ℃ |
| 外形寸法 | 38.1×76.2×141（継手を除く） mm |
| 継手 | 4-VCR／8-VCR／1/4インチSwagelok 互換 |
| 耐圧(バースト) | 1500psig以上 |
| 漏れ(内部→外部) | 1×10⁻⁹ scc/sec He未満 |
※ガスが継続的に供給・排気される「流れのある」系で使う製品。デッドエンドの系では余剰圧力を逃がせないため使用できない
※バルブオリフィス径・シール材・継手形状は型番の枝番で決まる。現品の詳細形番は要確認
※最大動作差圧はオリフィスA〜4で150psid、オリフィス5・6で30psid以下
※センサのフルスケールを超える圧力（45psia または F.S.の2倍のうち大きい方）をかけるとセンサを傷める
出典: ccrprocessproducts.com
MKS 640A-28779 の装置概要 AIによる記述です
ガスを連続して供給・排気する流れのある系で、圧力を設定値に保つための絶対圧コントローラです。圧力センサ、制御バルブ、制御回路を一体にまとめた構成です。外部からの設定信号に応じてバルブ開度を調整し、測定圧力を設定値に追従させます。フルスケールは1000 Torrで、確度は読み値の±0.5%です。制御範囲はF.S.の2〜100%、制御再現性は±0.1 %F.S.です。
圧力出力と設定入力は、DC0〜5Vまたは0〜10Vから選べます。オープンコレクタのトリップポイントを2点備えており、上位の制御装置やインターロック回路と組み合わせて使えます。電源は±15VDC±5%です。外形寸法は38.1×76.2×141（継手を除く） mm、継手は4-VCR／8-VCR／1/4インチSwagelok 互換です。内部から外部への漏れは1×10⁻⁹ scc/sec He未満とされています。
余剰圧力を逃がせないデッドエンドの系には使えません。バルブオリフィス径・シール材・継手形状は型番の枝番で決まるため、詳細は形番で確認が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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