中古機 圧力コントローラー MKS製、型式640A-28779のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、静電容量マノメーターとプロポーショナル制御バルブをコンパクトに一体化した絶対圧コントローラーです。主に真空プロセスやガス供給ラインにおいて、チャンバー内または配管内の圧力を高精度に自動制御するために使用されます。フルスケールレンジは1000 Torr（約133.3 kPa）に設定されており、大気圧近傍から中真空領域までの圧力計測および制御に適合します。

内部に搭載された静電容量式センサーは、ガスの種類や組成の変化に影響されない正確な絶対圧測定を可能にします。装置は、このセンサーで測定された圧力値と外部から入力される設定値を比較し、内蔵バルブの開度を高速かつ連続的に自動調整することで、目的の圧力を安定して維持します。半導体製造プロセスにおけるエッチングやCVD装置、各種ガス混合システム、研究開発用の真空チャンバーなど、精密な圧力環境の制御が求められる用途に適しています。

【AIによる参考仕様】
・測定および制御対象: 絶対圧
・フルスケールレンジ: 1000 Torr
・センサー方式: 静電容量型マノメーター
・制御バルブ: プロポーショナル制御バルブ内蔵
・測定・制御精度: フルスケールの±0.5%
・有効制御範囲: フルスケールの2% ～ 100%（20 Torr ～ 1000 Torr）
・設定値入力 / 圧力出力信号: アナログ信号（0-5 VDC または 0-10 VDC）
・必要電源: ±15 VDC または +24 VDC（標準的な消費電流は約250mA）
・接ガス部材質: 316Lステンレス鋼などの耐食性金属
・電気接続インターフェース: 15ピン D-subコネクタ等
※上記は同シリーズの標準的なデータに基づく参考仕様です。型式末尾の特注番号（-28779）により、配管継手の形状やサイズ（VCRやSwagelokなど）、バルブの初期状態（ノーマルクローズまたはノーマルオープン）、内部シール材質、入出力電圧の範囲などの詳細な仕様が特定されているため、実機稼働の際はコネクタのピンアサイン等の現物確認を推奨します。