中古機 圧力コントローラー MKS製、型式600series　　651CD2S1Nのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、排気スロットルバルブと組み合わせて真空チャンバー内の圧力を高精度に制御するためのセルフチューニング機能搭載圧力コントローラーです。主に半導体製造プロセスや真空装置において、同社製のステッピングモーター駆動スロットルバルブ（253シリーズなど）や、静電容量型真空計（バラトロン等）と接続して使用されます。

最大の特長は、プロセス条件に合わせてPID（比例・積分・微分）パラメーターを自動的に最適化するセルフチューニングアルゴリズムを内蔵している点です。これにより、手動での複雑なチューニング作業を省き、プロセスの立ち上げ時間短縮と安定した圧力制御を実現します。内部には16ビットのA/Dコンバーターを備えており、高分解能な信号処理による微細なバルブ開度調整が可能です。

型式コードの構成（651CD2S1N）から、本機は2チャンネルのセンサー入力に対応しており、測定レンジの異なる2つの真空計を接続した広範囲な圧力制御などが可能です。また、外部通信インターフェースとしてRS-232を備えており、ホストコンピューターからの自動制御やパラメーターの遠隔設定に対応します。フロントパネルには2行×16文字のLCDディスプレイと操作キーが配置され、ローカルでの設定や監視も直感的に行える設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・基本機能: セルフチューニング機能付きPID圧力コントローラー
・制御対象バルブ: 同社製 253シリーズ等のステッピングモーター駆動スロットルバルブ
・センサー入力数: 2チャンネル（入力信号 0〜10 VDC）
・センサー用電源出力: ±15 VDC
・A/Dコンバーター分解能: 16 bit
・アナログ入出力信号: 0〜10 VDC
・デジタル通信: RS-232（型式コード「S」に基づく）
・表示器: 2行×16文字 液晶ディスプレイ（LCD）
・セットポイント数: 4系統（プログラマブル、ローカル/リモート切替可）
・動作温度範囲: 15℃ ～ 40℃
・入力電源: 24 VDC（型式コード「D」に基づく仕様）
・外形寸法: 19インチハーフラックマウント対応サイズ