中古機 ピラニーゲージ アルバック　Ulvac製、型式GP-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の熱伝導を利用して低・中真空領域の圧力を測定する定温度型ピラニ真空計の表示器（コントロールユニット）です。半導体製造装置、各種真空炉、分析機器の真空排気系などにおける粗引きラインの圧力監視に広く用いられています。気体の熱伝導率が圧力に比例する原理を応用しており、大気圧付近から低真空領域の連続的な測定を行うことができます。

内部回路に定温度制御方式を採用しており、測定子内のフィラメント温度が常に一定となるようにブリッジ回路に供給する電圧を自動制御し、その電圧変化から圧力を算出します。この方式により、従来の定電圧方式と比較して応答速度が速く、より安定した圧力測定を実現しています。前面パネルには視認性の高いデジタル表示器を備えており、リアルタイムでの真空度確認が容易です。さらに、外部機器へのレコーダー出力（アナログ電圧）や、プロセス制御・インターロック構築に不可欠なセットポイント（接点出力）機能を搭載しており、真空システムの自動化への組み込みにも対応します。

なお、本品は本体およびケーブルのみの構成となっており、実際の圧力測定に必要な専用測定子（センサ部）は付属していません。稼働させるためには、測定環境に応じた互換性のある測定子を別途ご用意いただく必要があります。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 定温度型ピラニ真空計
・測定圧力範囲: 0.4 Pa ～ 3000 Pa（※適合する標準測定子を使用した場合）
・表示方式: デジタル表示（Pa単位）
・適合測定子: WP-01, WP-02, WP-03 等（※本品には付属しません）
・外部出力: レコーダー出力（アナログ電圧出力）
・制御出力: セットポイント（リレー接点出力）
・付属品: ケーブル（※測定子無し）
・主な用途: 真空排気系の粗引き圧力監視、スパッタリング装置、真空蒸着装置、真空乾燥機などのプロセス管理

（※記載の仕様は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考情報です。ご使用の際は別途用意する測定子の仕様にご注意ください。）